[实用新型]一种光刻设备涂胶组件

说明书

本实用新型提供了一种光刻设备涂胶组件，本实用新型涉及光刻设备技术领域，光刻设备涂胶组件，包括工作框，工作框左右两侧均开有与其相通的圆孔，工作框内固定有工作台，工作台上表面左右方均固定有立板，立板表面均开有左右贯通的孔洞，孔洞内均插入有螺杆，螺杆内外两端均穿出孔洞，且螺杆内端均固定有夹板，夹板底部均安装有两块呈左右分布的刮板，刮板底部与工作台上表面相接触，螺杆外端穿出圆孔；工作台表面开有若干个上下贯通的通孔；本实用新型的有益效果在于：有利于物件表面涂胶均匀，使得物件涂胶效果佳，可对胶水进行收集，避免胶水浪费，可通过移动两根螺杆便可清理工作台上方的胶水，使得工作台上的胶水清理方便。

技术领域

本实用新型涉及光刻设备技术领域，尤其是涉及一种光刻设备涂胶组件。

背景技术

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

现有的光刻设备涂胶组件，物件涂胶过程中会有部分胶水残留在工作台上，很难对这些胶水进行收集，导致这些胶水浪费，工作台上的胶水不及时处理，后期这些胶水变干后容易粘在工作台上，容易使得工作台表面凹凸不平。

实用新型内容

本实用新型提供了一种光刻设备涂胶组件，有利于物件表面涂胶均匀，使得物件涂胶效果佳，可对胶水进行收集，避免胶水浪费，可通过移动两根螺杆便可清理工作台上方的胶水，使得工作台上的胶水清理方便，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种光刻设备涂胶组件，包括工作框；

所述工作框左右两侧均开有与其相通的圆孔，所述工作框内固定有工作台，所述工作台上表面左右方均固定有立板，所述立板表面均开有左右贯通的孔洞，所述孔洞内均插入有螺杆，所述螺杆内外两端均穿出孔洞，且所述螺杆内端均固定有夹板，所述夹板底部均安装有两块呈左右分布的刮板，所述刮板底部与工作台上表面相接触，所述螺杆外端穿出圆孔；

所述工作台表面开有若干个上下贯通的通孔，若干个所述通孔均位于两块所述立板之间，所述工作框内壁底部放置有塑料盒，所述塑料盒位于工作台内侧下方，且所述塑料盒顶部为开口端，所述工作台底部固定有两块呈左右对称分布的导流板，若干个所述通孔位于两块所述导流板之间，两块所述导流板下端延伸至塑料盒上方。

优选的，所述螺杆外部均螺纹连接有螺帽，所述螺帽位于立板外侧并与其相接触。

优选的，所述工作框内壁前后两侧均固定有滑条，且所述工作框内设有位于工作台上方的移动板，所述移动板前后两侧均开有滑槽，两条所述滑条分别与两个所述滑槽滑动连接，且所述移动板底部安装有三个呈均匀分布的涂胶轮。

优选的，所述移动板上方固定有胶水箱，所述胶水箱底部固定有两根与其相通的出胶管，所述出胶管下端均贯穿过移动板底部，两根所述出胶管与三个所述涂胶轮交错分布。

优选的，所述出胶管表面均安装有电磁阀，所述工作框顶部左方安装有PLC控制器，所述PLC控制器与两个所述电磁阀电性连接。

优选的，所述工作框内壁后侧安装有位于胶水箱后方的电动导轨，所述胶水箱后侧固定有滑块，所述滑块与电动导轨滑动连接。

优选的，所述工作框前面铰接有门板，所述门板表面上方安装有透明窗。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

该种光刻设备涂胶组件，通过两个滑槽和两条滑条配合使用，有利于移动板在工作框内平稳移动，移动板移动时会带动其底部的涂胶轮在物件上滚动，涂胶轮可将物件上的胶水抹开，对物件进行涂胶工作，通过电动导轨和滑块共同使用下，可使得胶水箱和移动板反复来回移动，从而可使得涂胶轮在物件上来回滚动，有利于物件表面涂胶均匀，使得物件涂胶效果佳；