[实用新型]一种碳化硅单晶生长炉自动装炉装置

权利要求书

1.一种碳化硅单晶生长炉自动装炉装置，包括车体(1)，其特征在于：所述车体(1)底部固设有读码器(2)，且所述读码器(2)对铺设在工作区域地面上的二维码标识(3)进行采集及识别；

所述车体(1)顶部设有自动升降装置(4)，且所述自动升降装置(4)顶部设有平衡托盘(5)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶生长炉自动装炉装置，其特征在于：所述读码器(2)固设于车体(1)底部中心位置。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶生长炉自动装炉装置，其特征在于：所述车体(1)底部设有垂直轴(6)，且所述垂直轴(6)两端设有行走车轮(7)。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅单晶生长炉自动装炉装置，其特征在于：所述垂直轴(6)为2个，且所述行走车轮(7)相互垂直设置。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶生长炉自动装炉装置，其特征在于，所述二维码标识(3)包括：直行二维码、右转90°二维码、左转90°二维码、定位二维码及充电二维码。

6.根据权利要求1或2所述的一种碳化硅单晶生长炉自动装炉装置，其特征在于：所述车体(1)上设有控制器，且所述控制器与读码器(2)、自动升降装置(4)及行走车轮(7)电性连接。

7.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶生长炉自动装炉装置，其特征在于：所述自动升降装置(4)为自动折叠升降装置。