[实用新型]一种碳化硅单晶生长炉自动装炉装置

说明书

本实用新型公开了一种碳化硅单晶生长炉自动装炉装置，包括车体，其中：所述车体底部固设有读码器，且所述读码器对铺设在工作区域地面上的二维码标识进行采集及识别；所述车体顶部设有自动升降装置，且所述自动升降装置顶部设有平衡托盘，本实用新型通过在车体上设置读码器和自动升降装置，使得车体能够基于铺设在工作区域地面上的二维码标识进行相应运动，并通过自动升降装置对带有生长热场的炉底板进行自动装炉和出炉，实现无需人工干预的出炉或装炉，节省人工成本，提高出装炉效率。

技术领域

本实用新型属于半导体生产技术领域，具体涉及一种碳化硅单晶生长炉自动装炉装置。

背景技术

目前碳化硅晶体生长所采用的单晶炉多为下装料系统,即从设备的下方将单晶炉的底法兰打开,并进行出或装生长热场的方式。

但是，随着碳化硅单晶生长的尺寸越来越大(即热场重量越来越大)，以及单晶炉的数量越来越多,采用传统人工出装料实施过程费时费力，效率低，并且采用传统人工出装料对场地布置要求较高，严重影响产业化。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种碳化硅单晶生长炉自动装炉装置，以解决上述的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅单晶生长炉自动装炉装置，包括车体，其中：

所述车体底部固设有读码器，且所述读码器对铺设在工作区域地面上的二维码标识进行采集及识别；

所述车体顶部设有自动升降装置，且所述自动升降装置顶部设有平衡托盘。

优选的，所述读码器固设于车体底部中心位置。

优选的，所述车体底部设有垂直轴，且所述垂直轴两端设有行走车轮。

优选的，所述垂直轴为2个，且所述行走车轮相互垂直设置。

优选的，所述二维码标识包括：直行二维码、右转90°二维码、左转90°二维码、定位二维码及充电二维码。

优选的，所述车体上设有控制器，且所述控制器与读码器、自动升降装置及行走车轮电性连接。

优选的，所述自动升降装置为自动折叠升降装置。

本实用新型的技术效果和优点，该碳化硅单晶生长炉自动装炉装置：通过在车体上设置读码器和自动升降装置，使得车体能够基于铺设在工作区域地面上的二维码标识进行相应运动，并通过自动升降装置对带有生长热场的炉底板进行自动装炉和出炉，实现无需人工干预的出炉或装炉，节省人工成本，提高出装炉效率。

附图说明

图1为本实用新型的底部结构示意图；

图2为本实用新型侧视图；

图3为本实用新型含生长热场的碳化硅单晶生长炉结构示意图；

图4为本实用新型碳化硅单晶生长炉布局俯视图及车体走位线俯视图；

图5为本实用新型碳化硅单晶生长炉布局侧视图及车体走位线侧视图。

图中：1、车体；2、读码器；3、二维码标识；4、自动升降装置；5、平衡托盘；6、垂直轴；7、行走车轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图1-5，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

现结合说明书附图，详细说明本实用新型的结构特点。