[实用新型]一种等离子蚀刻设备

说明书

本实用新型涉及电路板加工设备技术领域，尤其涉及一种等离子蚀刻设备，包括：基座；蚀刻腔，设置在基座上，用于容置电路板，并且蚀刻腔的一端敞开；门板，设置在蚀刻腔上敞开的一端，门板的一侧或两侧设置有限位杆；支架，设置在基座上，设置有与限位杆相配合的限位孔；本实用新型的门板能够沿腰孔的轴线方向移动，而腰孔的下端朝向靠近蚀刻腔的方向倾斜延伸，进而保证门板在移动过程中的准确性和稳定性，即门板可以在下降过程中朝向靠近蚀刻腔的方向移动进而压紧以封闭甚至密封蚀刻腔，避免发生泄漏的问题而影响蚀刻的质量和车间的生产环境。

技术领域

本实用新型涉及电路板加工设备技术领域，尤其涉及一种等离子蚀刻设备。

背景技术

等离子蚀刻装置，又称为等离子表面处理机，等离子表面改性设备，主要应用于印刷包装行业、电子行业、塑胶行业、家电行业、汽车工业、印刷及喷码行业等。其中，等离子体技术主要作用为蚀刻材料表面，提高表面的附着能力及粘接能力。等离子技术具有极为广泛的应用领域，通过使用这种创新的表面处理工艺，可以实现现代制造工艺所追求的高品质，高可靠性，高效率，低成本和环保等目标。现有的蚀刻设备通常具有一端或两端敞开的蚀刻腔，蚀刻腔的敞开端采用可升降的门板封闭，但是这样的方式具有密封性不佳、容易泄漏的问题，影响蚀刻质量以及车间环境。

实用新型内容

为了克服上述现有技术的不足，本实用新型提供了一种等离子蚀刻设备，能够封闭并且密封蚀刻腔的敞开端，避免泄漏，保证蚀刻的质量。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案为：一种等离子蚀刻设备，包括：基座；蚀刻腔，设置在所述基座上，用于容置电路板，并且所述蚀刻腔的一端敞开；门板，设置在所述蚀刻腔上敞开的一端，所述门板的一侧或两侧设置有限位杆；支架，设置在所述基座上，设置有与所述限位杆相配合的限位孔；其中，所述限位孔为腰孔且沿竖向设置，所述限位孔的下端朝向靠近所述蚀刻腔的方向倾斜延伸，所述门板连接有驱动机构，所述驱动机构用于驱使所述门板沿所述限位孔的轴线方向移动以压紧或远离所述蚀刻腔。

进一步地，所述限位孔倾斜延伸的下端呈弧形过渡。

进一步地，所述支架有两个并且分设在所述门板的两侧，两个所述支架之间通过固定板连接，所述驱动机构沿竖向朝下安装在所述固定板上，所述驱动机构的输出端与所述门板活动连接。

进一步地，所述门板上远离所述蚀刻腔的一端设置有朝外延伸的牵引块，所述驱动机构的输出端设置有轴承安装块，所述轴承安装块上设置有至少两个活动轴承，两个所述活动轴承分设在所述牵引块的上下两端。

进一步地，所述牵引块水平设置，所述牵引块可沿水平方向朝向靠近或远离所述蚀刻腔移动。

进一步地，还包括沿竖向设置的导轨以及设置在所述导轨上的滑块，所述滑块上设置有具有通孔的辅助升降块，所述门板上具有穿过所述通孔设置的杆件。

进一步地，所述蚀刻腔上敞开的一端开设有与所述门板相配合的密封槽。

进一步地，所述门板上相对靠近所述蚀刻腔的一端和/或所述密封槽上设置有密封垫片。

本实用新型的有益效果有：本实用新型的门板能够沿腰孔的轴线方向移动，而腰孔的下端朝向靠近蚀刻腔的方向倾斜延伸，进而保证门板在移动过程中的准确性和稳定性，即门板可以在下降过程中朝向靠近蚀刻腔的方向移动进而压紧以封闭甚至密封蚀刻腔，避免发生泄漏的问题而影响蚀刻的质量和车间的生产环境。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本实用新型实施例的等离子蚀刻设备的结构示意图；

图2是本实用新型实施例的门板部分的装配示意图。

具体实施方式