[实用新型]微波等离子体发生装置有效
申请号: | 202120501309.4 | 申请日: | 2021-03-09 |
公开(公告)号: | CN214429764U | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 赵义党;李志强;李志华;廖文晗;贝亮 | 申请(专利权)人: | 珠海恒格微电子装备有限公司 |
主分类号: | H05H1/46 | 分类号: | H05H1/46 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 卢泽明 |
地址: | 519000 广东省珠海市横琴新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微波 等离子体 发生 装置 | ||
1.微波等离子体发生装置,其特征在于,包括:
等离子腔(303),连接有第一冷却组件(305)以及气体通入组件,所述等离子腔(303)的下端开设有输出口;
微波导入腔(304),设置在所述等离子腔(303)的上端,并且所述等离子腔(303)和所述微波导入腔(304)之间通过石英板(307)隔开,所述微波导入腔(304)连接有第二冷却组件(306)。
2.根据权利要求1所述的微波等离子体发生装置,其特征在于,还包括呈框型的冷却板(301),所述冷却板(301)固定安装在盖体(102)上,并且所述等离子腔(303)形成在所述冷却板(301)上。
3.根据权利要求2所述的微波等离子体发生装置,其特征在于,所述冷却板(301)上开设有气体通入流道(318),所述气体通入流道(318)的一端连通若干个气体通入口(319),另一端连通所述气体通入组件。
4.根据权利要求3所述的微波等离子体发生装置,其特征在于,所述等离子腔(303)呈矩形,若干个所述气体通入口(319)分为两组并且分设在所述等离子腔(303)相对的两个侧壁上。
5.根据权利要求2所述的微波等离子体发生装置,其特征在于,还包括导波盖(302),所述导波盖(302)安装在所述冷却板(301)上并且在所述导波盖(302)与所述冷却板(301)之间形成所述微波导入腔(304)。
6.根据权利要求5所述的微波等离子体发生装置,其特征在于,所述第二冷却组件(306)有至少一个,并且所述第二冷却组件(306)为安装在所述导波盖(302)上的散热风扇。
7.根据权利要求5所述的微波等离子体发生装置,其特征在于,所述导波盖(302)与所述冷却板(301)之间设置有导波孔板(311),所述导波孔板(311)上开设有若干个穿孔,若干个所述穿孔沿所述冷却板(301)的宽度方向延伸。
8.根据权利要求2所述的微波等离子体发生装置,其特征在于,所述石英板(307)与所述冷却板(301)之间设置有垫圈(312),所述垫圈(312)采用特氟龙材料制成。
9.根据权利要求1所述的微波等离子体发生装置,其特征在于,所述输出口上连接有蚀刻板(314),所述蚀刻板(314)上开设有网孔,所述蚀刻板(314)上靠近产品的一端设置挡板(315),所述挡板(315)围合在所述网孔的周围。
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