[实用新型]微波等离子体发生装置

说明书

本实用新型涉及电路板加工设备技术领域，尤其涉及一种微波等离子体发生装置，包括：等离子腔，连接有第一冷却组件以及气体通入组件，所述等离子腔的下端开设有输出口；微波导入腔，设置在所述等离子腔的上端，并且所述等离子腔和所述微波导入腔之间通过石英板隔开，所述微波导入腔连接有第二冷却组件，本实用新型的微波等离子体发生装置在的等离子腔的上端设置微波导入腔，并且微波导入腔和等离子腔之间通过石英板隔开，等离子腔连接第一冷却组件，微波导入腔连接第二冷却组件，保证整个等离子体发生装置的散热效果，从而延长装置的使用寿命，并且该装置长时间使用后仍可以均匀地产生等离子体，保证蚀刻的质量和效率。

技术领域

本实用新型涉及电路板加工设备技术领域，尤其涉及一种微波等离子体发生装置及等离子蚀刻设备。

背景技术

等离子刻蚀是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。采用该原理工作的等离处理设备是用等离子体中的自由基去轰击或溅射被刻蚀材料的表面分子，形成易挥发物质，从而实现刻蚀的目的。

目前，等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面活化、改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。

然而，传统的用于蚀刻电路板的等离子体发生装置大多存在着等离子体产生不均匀、装置散热不佳而导致蚀刻质量不稳定、使用寿命低的问题。

实用新型内容

为了克服上述现有技术的不足，本实用新型提供了一种微波等离子体发生装置，包括：等离子腔，连接有第一冷却组件以及气体通入组件，所述等离子腔的下端开设有输出口；微波导入腔，设置在所述等离子腔的上端，并且所述等离子腔和所述微波导入腔之间通过石英板隔开，所述微波导入腔连接有第二冷却组件。

进一步地，还包括呈框型的冷却板，所述冷却板固定安装在盖体上，并且所述等离子腔形成在所述冷却板上。

进一步地，所述冷却板上开设有气体通入流道，所述气体通入流道的一端连通若干个气体通入口，另一端连通所述气体通入组件。

进一步地，所述等离子腔呈矩形，若干个所述气体通入口分为两组并且分设在所述等离子腔相对的两个侧壁上。

进一步地，还包括导波盖，所述导波盖安装在所述冷却板上并且在所述导波盖与所述冷却板之间形成所述微波导入腔。

进一步地，所述第二冷却组件有至少一个，并且所述第二冷却组件为安装在所述导波盖上的散热风扇。

进一步地，所述导波盖与所述冷却板之间设置有导波孔板。

进一步地，所述导波孔板上开设有若干个穿孔，若干个所述穿孔沿所述冷却板的宽度方向延伸。

进一步地，所述石英板与所述冷却板之间设置有垫圈，所述垫圈采用特氟龙材料制成。

进一步地，所述输出口上连接有蚀刻板，所述蚀刻板上开设有网孔。

进一步地，所述蚀刻板上靠近产品的一端设置挡板，所述挡板围合在所述网孔的周围。

本实用新型的有益效果有：本实用新型的微波等离子体发生装置在的等离子腔的上端设置微波导入腔，并且微波导入腔和等离子腔之间通过石英板隔开，等离子腔连接第一冷却组件，微波导入腔连接第二冷却组件，保证整个等离子体发生装置的散热效果，从而延长装置的使用寿命，并且该装置长时间使用后仍可以均匀地产生等离子体，保证蚀刻的质量和效率。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：