[实用新型]一种半导体膜状扩散源原料搅匀装置有效
| 申请号： | 202120502314.7 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN214553540U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 汪良恩;王锡康;姜兰虎;乔建明 | 申请（专利权）人： | 山东芯源微电子有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/18 | 分类号： | B01J19/18;B01D5/00 |
| 代理公司： | 山东瑞宸知识产权代理有限公司 37268 | 代理人： | 王萍 |
| 地址： | 250200 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 扩散 原料 搅匀 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体膜状扩散源原料搅匀装置，其特征在于：包括罐体(2)，在所述罐体(2)顶部设有进料口(3)、底部设有出料口(4)，搅拌杆(7)设置在罐体(2)内部的搅拌轴(6)上，所述搅拌轴(6)与罐体(2)顶部的搅拌电机(5)连接，在所述罐体(2)顶部一侧设有冷凝管壳体(8)，冷凝器(9)设置在冷凝管壳体(8)内部，冷凝器(9)设有进水口(10)和出水口(11)，在所述冷凝管壳体(8)设有排空口(13)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体膜状扩散源原料搅匀装置，其特征在于：所述罐体(2)这孩子在支架(1)上。
3.根据权利要求1所述的一种半导体膜状扩散源原料搅匀装置，其特征在于：所述冷凝管壳体(8)通过球形罐与罐体(2)连接。
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