[实用新型]一种半导体膜状扩散源原料搅匀装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体膜状扩散源原料搅匀装置，属于生产成型设备技术领域，包括罐体，在所述罐体顶部设有进料口、底部设有出料口，搅拌杆设置在罐体内部的搅拌轴上，所述搅拌轴与罐体顶部的搅拌电机连接，在所述罐体顶部一侧设有冷凝管壳体，冷凝器设置在冷凝管壳体内部，冷凝器设有进水口和出水口，在所述冷凝管壳体设有排空口，挥发的原料进入冷凝管壳体接触到冷凝器，气体被冷凝为液体从冷凝器滴下，垂直竖立的冷凝管壳体避免液体过度冷却造成的液体凝固，反复回流，大大的降低了反应成本，所述冷凝管壳体通过球形罐与罐体连接，通过球形罐的缓冲减压，整个过程是在减压的条件下分离，使得气流速度减慢，提高冷凝回流效率。

技术领域

本实用新型属于生产成型设备技术领域，具体是一种半导体膜状扩散源原料搅匀装置。

背景技术

半导体材料是微电子和光电子器件的主要材料，特别是大规模集成电路芯片上元件的集成度越来越高，元件的尺寸越来越小，半导体薄膜是构成这类器件的基本材料。半导体膜状扩散源在行业内也俗称纸源。

在成膜前，混合物料都是乳状物，容易凝结固化，为防止固话，混合物料需要在特性的条件下进行不断的搅拌，但是，随着搅拌，混合物料也就会伴随着升温发热蒸发的情况，浪费一些物料。

实用新型内容

鉴于现有技术中存在的不足和缺陷，本实用新型的目的在于提供一种半导体膜状扩散源原料搅匀装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种半导体膜状扩散源原料搅匀装置，其特征在于：包括罐体，在所述罐体顶部设有进料口、底部设有出料口，搅拌杆设置在罐体内部的搅拌轴上，所述搅拌轴与罐体顶部的搅拌电机连接，在所述罐体顶部一侧设有冷凝管壳体，冷凝器设置在冷凝管壳体内部，冷凝器设有进水口和出水口，在所述冷凝管壳体设有排空口。

作为本实用新型的进一步改进，所述罐体这孩子在支架上。

作为本实用新型的进一步改进，所述冷凝管壳体通过球形罐与罐体连接。

与现有技术相比，本实用新型具有的有益效果为：在本实用新型中，挥发的原料进入冷凝管壳体接触到冷凝器，气体被冷凝为液体从冷凝器滴下，垂直竖立的冷凝管壳体避免液体过度冷却造成的液体凝固，反复回流，大大的降低了反应成本，所述冷凝管壳体通过球形罐与罐体连接，通过球形罐的缓冲减压，整个过程是在减压的条件下分离，使得气流速度减慢，提高冷凝回流效率。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的说明：

图1为本实用新型一种半导体膜状扩散源原料搅匀装置的结构示意图；

图中：1支架、2罐体、3进料口、4出料口、5搅拌电机、6搅拌轴、7搅拌杆、8冷凝管壳体、9冷凝器、10进水口、11出水口、12蒸汽进口、13排空口、14球形罐。

具体实施方式

为了本实用新型的技术方案和有益效果更加清楚明白，下面结合具体实施例对本实用新型进行进一步的详细说明。

参照图1，为本实用新型的结构示意图，包括罐体2，在所述罐体2顶部设有进料口3、底部设有出料口4，搅拌杆7设置在罐体2内部的搅拌轴6上，所述搅拌轴6与罐体2顶部的搅拌电机5连接，在所述罐体2顶部一侧设有冷凝管壳体8，冷凝器9设置在冷凝管壳体8内部，冷凝器9设有进水口10和出水口11，在所述冷凝管壳体8设有排空口13，所述罐体2这孩子在支架1上。所述冷凝管壳体8通过球形罐14与罐体2连接。