[实用新型]一种研磨抛光设备多方向力控制补偿结构有效

专利信息
申请号: 202120510548.6 申请日: 2021-03-10
公开(公告)号: CN213352045U 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 罗永念;罗强;黄大路 申请(专利权)人: 东莞市春草研磨科技有限公司
主分类号: B24B41/02 分类号: B24B41/02;B24B41/06;B24B47/22;B24B51/00;B24B49/00
代理公司: 东莞市卓越超群知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44462 代理人: 李慧
地址: 523710 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 研磨 抛光 设备 多方 控制 补偿 结构
【权利要求书】:

1.一种研磨抛光设备多方向力控制补偿结构,其特征在于:包括Y轴驱动部、Z轴驱动部、工件固定部、用于感应工件固定部压力值的力控传感器和控制模块,所述控制模块控制Y轴驱动部驱动Z轴驱动部沿Y轴方向往返移动,所述控制模块控制Z轴驱动部驱动力控传感器沿Z轴方向往返移动,所述力控传感器与控制模块信号连接,所述工件固定部位于力控传感器的上方。

2.根据权利要求1所述的一种研磨抛光设备多方向力控制补偿结构,其特征在于:还包括X轴驱动部,所述控制模块控制X轴驱动部驱动Y轴驱动部沿X轴方向往返移动。

3.根据权利要求1所述的一种研磨抛光设备多方向力控制补偿结构,其特征在于:所述工件固定部包括安装座、转台机构和固定架,所述安装座安装在力控传感器上,所述转台机构设置在安装座上,且转台机构驱动固定架转动。

4.根据权利要求3所述的一种研磨抛光设备多方向力控制补偿结构,其特征在于:所述转台机构包括转台电机和分割器,所述转台电机驱动分割器工作从而带动固定架转动。

5.根据权利要求3所述的一种研磨抛光设备多方向力控制补偿结构,其特征在于:所述工件固定部还包括气缸、为气缸供气的气滑环和工件夹紧部,所述气缸固定设置在固定架上,所述气滑环与气缸相互配合,所述气缸驱动工件夹紧部往返伸缩。

6.根据权利要求2所述的一种研磨抛光设备多方向力控制补偿结构,其特征在于:所述X轴驱动部包括第一电机和第一丝杆机构,所述第一电机驱动第一丝杆机构工作。

7.根据权利要求1所述的一种研磨抛光设备多方向力控制补偿结构,其特征在于:所述Y轴驱动部包括第二电机和第二丝杆机构,所述第二电机驱动第二丝杆机构工作。

8.根据权利要求1-6任意一项所述的一种研磨抛光设备多方向力控制补偿结构,其特征在于:所述Z轴驱动部包括第三电机和第三丝杆机构,所述第三电机驱动第三丝杆机构工作。

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