[实用新型]转移设备

说明书

一种转移设备，包含承载装置、挑拣装置，及抵靠装置。所述承载装置包括移动机构，及设置于所述移动机构并能被其带动而移动的承载膜，所述承载膜具有贴附面及背面。所述挑拣装置设置于所述承载装置一侧且面向所述承载膜的贴附面，用以由多个电子元件中挑拣出欲转移至所述贴附面的一个电子元件。所述抵靠装置设置于所述承载装置相反于所述挑拣装置的一侧并包括面向所述承载膜的背面的抵靠件，所述抵靠件具有用以抵靠所述背面的抵靠面，所述抵靠面凹陷形成盲孔，所述盲孔设置成用以对齐欲转移的所述电子元件并能供欲转移的所述电子元件及贴附欲转移的所述电子元件的所述承载膜的变形部位容置。

技术领域

本实用新型涉及一种转移设备，特别是涉及一种用以挑拣并转移电子元件的转移设备。

背景技术

在半导体制程中，会通过晶粒挑拣装置对切割完成的多个晶粒依其质量或特性进行挑拣分类。所述晶粒挑拣装置通过吸嘴吸取第一承载膜上的对应的晶粒，而后所述吸嘴再将所吸取的所述晶粒转移黏贴至第二承载膜上。

所述吸嘴将所吸取的所述晶粒转贴至所述第二承载膜的过程中，需通过具有缓冲作用的承靠模块支撑于所述第二承载膜背面，以吸收所述晶粒转移时所受到的冲击力。现有所述承靠模块具有用以承靠于所述第二承载膜的壳体、设置于所述壳体内用以承靠于所述第二承载膜并与所述晶粒位置对应的伸缩件，及设置于所述壳体内并对所述伸缩件施加弹力的弹簧。

由于所述承靠模块的组成构件数量多、结构复杂且整体体积大，因此，所述承靠模块的制造成本较高，且无法依据所述晶粒尺寸的小型化而将体积缩小设计，所以所述承靠模块无法满足小型化的设计需求。

发明内容

本实用新型的其中一目的，在于提供一种能够克服背景技术的至少一个缺点的转移设备。

本实用新型的目的及解决背景技术问题是采用以下技术方案来实现的，依据本实用新型提出的转移设备包含承载装置、挑拣装置，及抵靠装置，所述承载装置包括移动机构，及设置于所述移动机构并能被其带动而移动的承载膜，所述承载膜具有贴附面，及相反于所述贴附面的背面，所述挑拣装置设置于所述承载装置一侧且面向所述承载膜的贴附面，用以由多个电子元件中挑拣出欲转移至所述贴附面的一个电子元件，所述抵靠装置设置于所述承载装置相反于所述挑拣装置的一侧并包括面向所述承载膜的背面的抵靠件，所述抵靠件具有用以抵靠所述背面的抵靠面，所述抵靠面凹陷形成盲孔，所述盲孔设置成用以对齐欲转移的所述电子元件，并能供欲转移的所述电子元件及贴附欲转移的所述电子元件的所述承载膜的变形部位容置。

本实用新型的转移设备，所述盲孔呈圆形并具有直径，所述直径大于所述电子元件的对角线长度。

本实用新型的转移设备，所述盲孔具有深度，所述深度大于所述电子元件的厚度。

本实用新型的转移设备，所述直径介于4毫米～8毫米，所述深度为2毫米。

本实用新型的转移设备，所述移动机构用以带动所述承载膜沿第一方向，及垂直于所述第一方向的第二方向移动，所述挑拣装置包括用以吸附所述电子元件的吸嘴，所述抵靠件能沿垂直于所述第一方向与所述第二方向的第三方向移动以抵靠所述背面或与其分离。

本实用新型的转移设备，所述抵靠装置还包括驱动机构，及设置于所述驱动机构与所述抵靠件之间的传动杆，所述驱动机构用以驱动所述传动杆使其带动所述抵靠件沿所述第三方向移动。

本实用新型的转移设备，所述抵靠件还具有相反于所述抵靠面的螺接段，所述传动杆形成有供所述螺接段螺接的螺孔。