[实用新型]用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统

权利要求书

1.一种用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，其特征在于：包括与过渡腔室依次连通的第一控制阀和缓冲腔室，和与质谱仪的真空腔室连通的第二控制阀，所述缓冲腔室的一接口通过第一连接气路与所述第二控制阀的另一接口连通；所述真空预抽系统还包括与过渡腔室连通的进气阀。

2.根据权利要求1所述的用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，其特征在于：所述真空预抽系统还包括密封设置在真空腔室的外壁上的阀体歧块，所述进气阀和第二控制阀集成安装在所述阀体歧块上。

3.根据权利要求2所述的用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，其特征在于：所述阀体歧块上开设有腔室连接通道，其具有第一连接孔、第二连接孔，以及第一连接通道、第二连接通道，所述第一连接通道一端与所述过渡腔室连通而另一端与所述第一连接孔连通，所述第二连接通道一端与所述第二连接孔连通而另一端与所述真空腔室连通；

阀体歧块上还开设有进气阀连接通道，其具有第一通道和第二通道，所述第一通道的一端与第一连接孔连通而其另一端与所述进气阀的第一接口连通，所述第二通道的一端与进气阀的第二接口连通而另一端与外界大气连通；

阀体歧块上还开设有第三通道，所述第三通道的一端与所述第二连接孔连通而另一端与所述第二控制阀的一接口连通。

4.根据权利要求3所述的用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，其特征在于：所述第二通道的进气口处密封插装有消音器。

5.根据权利要求3所述的用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，其特征在于：所述真空预抽系统还包括与所述过渡腔室连通的真空检测元器件。

6.根据权利要求5所述的用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，其特征在于：所述阀体歧块上还开设有与所述第一连接孔连通的真空检测通道，所述真空检测元器件的检测部插装在所述真空检测通道内。

7.根据权利要求5或6所述的用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，其特征在于：所述真空检测元器件为真空规。

8.根据权利要求3所述的用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，其特征在于：所述阀体歧块上还开设有一端与所述第一连接孔连通的第四通道，所述第一控制阀安装在阀体歧块上。

9.根据权利要求1所述的用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，其特征在于：所述第二控制阀、进气阀和第一控制阀均为两位两通电磁阀。

10.根据权利要求2所述的用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，其特征在于：所述阀体歧块的一侧面的上部或下部向外凸出形成安装台面，所述安装台面密封贴设在所述真空腔室的外壁上。