[实用新型]用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统

说明书

本实用新型公开了一种用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，包括与过渡腔室依次连通的第一控制阀和缓冲腔室，和与质谱仪的真空腔室连通的第二控制阀，所述缓冲腔室的一接口通过第一连接气路与所述第二控制阀的另一接口连通；所述真空预抽系统还包括与过渡腔室连通的进气阀。本实用新型的过渡腔室和真空腔室之间连通设置有第一控制阀、缓冲腔室和第二控制阀，在质谱仪开启时可利用真空腔室对缓冲腔室抽取真空，使得缓冲腔室的真空度接近真空腔室并保持恒定，利用缓冲腔室缓存的高真空度负压来实现过渡腔室的快速预抽，缩短了样品的等待进样时间，提高了检测效率。

技术领域

本实用新型涉及质谱仪，尤其是涉及一种用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统。

背景技术

基质辅助激光解析电离飞行时间质谱仪（即MALDI-TOF-MS，以下简称质谱仪）需要在真空状态下进行样品分析，即将样品置于质谱仪的真空腔室内进样样品解离。现有质谱仪大多利用分子泵对真空腔室（由箱体和盖板围成）抽取真空，确保真空腔室的真空度；为保护分子泵，分子泵的前端常配备有前级机械泵。

现有质谱仪的真空腔室较大，真空腔室的抽真空时间较长，若通过对真空腔室反复补充空气和抽真空来实现样品的取放，严重降低了质谱仪的检测效率。为此，现有质谱仪大多具有过渡腔室（真空腔室的盖板上开设有取放口，过渡腔室由抵在取放口底部的样品靶槽和盖设取放口处的密封盖围成），通过对过渡腔室放真空和预抽即可实现样品的取放作业，进而提高检测效率。

现有过渡腔室的预抽方式是利用质谱仪的机械泵，当过渡腔室的真空度达到预设真空度时，样品靶槽下行预设高度，过渡腔室和真空腔室连通形成一个整体，从而实现稳定进样。然而，由于机械泵的预抽时间相对较长，导致样品的等待时间较长，无法满足高通量样本的快速检测需求；另外，现有过渡腔室的预抽大多利用外设气路，气路结构复杂，不仅占用空间，稳定性较差，而且气路还容易磨损，影响过渡腔室的正常预抽。因而，如何设计一种能够实现过渡腔室的快速预抽的真空预抽系统是本行业需要解决的重要技术问题。

发明内容

本实用新型目的在于提供一种用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，该真空预抽系统的缓冲腔室能够预存与真空腔室真空度一致的高真空负压，可通过缓存腔室室对过渡腔室预抽，实现过渡腔室的快速预抽，缩短了样品的进样等待时间。

为实现上述目的，本实用新型采取下述技术方案：

本实用新型所述的用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，包括与过渡腔室依次连通的第一控制阀和缓冲腔室，和与质谱仪的真空腔室连通的第二控制阀，所述缓冲腔室的一接口通过第一连接气路与所述第二控制阀的另一接口连通；所述真空预抽系统还包括与过渡腔室连通的进气阀。

在本实用新型的优选实施方式中，所述真空预抽系统还包括密封设置在真空腔室的外壁上的阀体歧块，所述进气阀和第二控制阀集成安装在所述阀体歧块上。

在本实用新型的优选实施方式中，所述阀体歧块上开设有腔室连接通道，其具有第一连接孔、第二连接孔，以及第一连接通道、第二连接通道，所述第一连接通道一端与所述过渡腔室连通而另一端与所述第一连接孔连通，所述第二连接通道一端与所述第二连接孔连通而另一端与所述真空腔室连通；

阀体歧块上还开设有进气阀连接通道，其具有第一通道和第二通道，所述第一通道的一端与第一连接孔连通而其另一端与所述进气阀的第一接口连通，所述第二通道的一端与进气阀的第二接口连通而另一端与外界大气连通；

阀体歧块上还开设有第三通道，所述第三通道的一端与所述第二连接孔连通而另一端与所述第二控制阀的一接口连通。

在本实用新型的更优选实施方式中，所述第二通道的进气口处密封插装有消音器，有效避免因空气流速过快而引起的啸声；消音器自带过渡网，对进入第二通道内的空气进行过滤，提高进入过渡腔室内的空气的洁净度。

在本实用新型的更优选实施方式中，所述真空预抽系统还包括与所述过渡腔室连通的真空检测元器件。