[实用新型]适于质谱仪的抽真空系统

权利要求书

1.一种适于质谱仪的抽真空系统，其特征在于：包括第一抽气单元和第二抽气单元，所述第一抽气单元包括连通设置的分子泵和机械泵，且所述分子泵的抽气口与质谱仪的真空腔室相连通；所述第二抽气单元包括真空气路、进气阀和预抽阀，所述真空气路的一端与所述质谱仪的过渡腔室连通，真空气路的另一端分为两路，第一路通过所述进气阀与外界大气连通而其第二路通过所述预抽阀与所述真空腔室连通。

2.根据权利要求1所述的适于质谱仪的抽真空系统，其特征在于：所述抽真空系统还包括用于检测所述过渡腔室的真空度的真空检测元器件，所述真空检测元器件设置在位于所述预抽阀和过渡腔室之间的所述真空气路上。

3.根据权利要求2所述的适于质谱仪的抽真空系统，其特征在于：所述真空检测元器件为真空规。

4.根据权利要求2所述的适于质谱仪的抽真空系统，其特征在于：所述抽真空系统还包括设置在所述真空腔室的外壁上的阀体歧块，所述进气阀和所述预抽阀安装在所述阀体歧块上。

5.根据权利要求4所述的适于质谱仪的抽真空系统，其特征在于：所述真空气路包括竖向开设在所述阀体歧块上的第一连接孔、第二连接孔，以及水平设置在阀体歧块上的第一连接通道和第二连接通道，所述第一连接通道的一端与所述过渡腔室连通而其另一端与所述第一连接孔连通；所述第二连接通道的一端与所述真空腔室连通而其另一端与所述第二连接孔连通；

真空气路还包括水平开设在阀体歧块上的第一通道和第二通道，所述第一通道的一端与第一连接孔连通而其另一端与所述进气阀的第一接口连通，所述第二通道的一端与进气阀的第二接口连通而其另一端与外界大气连通；

真空气路还包括水平开设在阀体歧块上的第三通道和第四通道，所述第三通道的一端与第一连接孔连通而另一端与所述预抽阀的第一接口连通，所述第四通道的一端与预抽阀的第二接口连通而其另一端与第二连接孔连通。

6.根据权利要求5所述的适于质谱仪的抽真空系统，其特征在于：所述真空气路还包括竖向开设在所述阀体歧块上的真空检测通道，所述真空检测通道的一端与所述第一连接孔连通而其另一端具有一沉孔，所述真空检测元器件的检测部插装在所述沉孔内。

7.根据权利要求5所述的适于质谱仪的抽真空系统，其特征在于：与外界大气连通的所述第二通道的一端部设置有消音器。

8.根据权利要求4所述的适于质谱仪的抽真空系统，其特征在于：所述阀体歧块的一侧面的上部或下部向外凸出形成安装台面，所述安装台面密封设置在所述真空腔室的外壁上。

9.根据权利要求1或2所述的适于质谱仪的抽真空系统，其特征在于：所述抽真空系统还包括负压缓存单元，所述负压缓存单元包括缓存腔和缓冲阀，所述缓存腔的第一接口与所述机械泵的抽气口连通，缓存腔的第二接口通过所述缓冲阀与所述过渡腔室连通。

10.根据权利要求1或2所述的适于质谱仪的抽真空系统，其特征在于：所述抽真空系统还包括负压缓存单元，所述负压缓存单元还包括缓存腔和缓冲阀，所述缓存腔的第一接口通过所述预抽阀与所述真空腔室相连通，缓存腔的第二接口通过所述缓冲阀与所述过渡腔室连通。