[实用新型]适于质谱仪的抽真空系统

说明书

本实用新型公开了一种适于质谱仪的抽真空系统，包括第一抽气单元和第二抽气单元，第一抽气单元包括连通设置的分子泵和机械泵，且分子泵的抽气口与质谱仪的真空腔室相连通；第二抽气单元包括真空气路、进气阀和预抽阀，真空气路的一端与质谱仪的过渡腔室连通，真空气路的另一端分为两路，第一路通过进气阀与外界大气连通而其第二路通过预抽阀与真空腔室连通。本实用新型利用预抽阀实现了真空腔室和过渡腔室的连通，在抽真空时分子泵可通过真空腔室对过渡腔室间接抽取真空，实现了过渡腔室的快速预抽，大大缩短了样品了进样等待时间，提高了检测效率。

技术领域

本实用新型涉及质谱仪，尤其是涉及一种适于质谱仪的抽真空系统。

背景技术

基质辅助激光解析电离飞行时间质谱仪（即MALDI-TOF-MS，以下简称质谱仪）需要在真空状态下进行样品分析，即将样品置于质谱仪的真空腔室内进样样品解离。如图1所示，现有大多利用分子泵对真空腔室2.1（由箱体2.4和盖板2.3围成）抽取真空，确保真空腔室的真空度；同时为保护分子泵1.1，在分子泵的前端还配备有前级机械泵。

质谱仪的真空腔室2.1较大，真空腔室的抽真空时间较长，若通过对真空腔室反复补充空气和抽真空来实现样品的取放，严重降低了质谱仪的检测效率。为此，现有质谱仪大多具有过渡腔室2.2（真空腔室的盖板2.3上开设有取放口，过渡腔室由抵在取放口底部的样品靶槽F和盖设取放口处的密封盖M围成），具体如图1所示。工作时通过对过渡腔室放真空和预抽即可实现样品的取放作业，进而提高检测效率。

现有过渡腔室的预抽方式是利用质谱仪的机械泵，当过渡腔室的真空度达到预设真空度时，样品靶槽下行预设高度，过渡腔室和真空腔室连通形成一个整体，从而实现稳定进样。然而，由于机械泵的预抽时间相对较长，导致样品的等待时间较长，无法满足高通量样本的快速检测需求。

为此，现有通常采用大功率的机械泵缩短过渡腔室的预抽时间，机械泵的功率越大其体积相对越大且价格相对更为昂贵，故大功率的机械泵往往伴随着质谱仪的体积更加庞大，且成本更高。因而，如何设计一种能够实现过渡腔室的快速预抽的抽真空系统是本行业需要解决的重要技术问题。

发明内容

本实用新型目的在于提供一种适于质谱仪的抽真空系统，该抽真空系统的过渡腔室和真空腔室通过预抽阀连通，可通过真空腔室对过渡腔室预抽，实现了过渡腔室的快速预抽，缩短了样品的进样等待时间。

为实现上述目的，本实用新型采取下述技术方案：

本实用新型所述的适于质谱仪的抽真空系统，包括第一抽气单元和第二抽气单元，所述第一抽气单元包括连通设置的分子泵和机械泵，且所述分子泵的抽气口与质谱仪的真空腔室相连通；所述第二抽气单元包括真空气路、进气阀和预抽阀，所述真空气路的一端与所述质谱仪的过渡腔室连通，真空气路的另一端分为两路，第一路通过所述进气阀与外界大气连通而其第二路通过所述预抽阀与所述真空腔室连通。

在本实用新型的优选实施方式中，所述抽真空系统还包括用于检测所述过渡腔室的真空度的真空检测元器件，所述真空检测元器件设置在位于所述预抽阀和过渡腔室之间的所述真空气路上。更优选地，所述真空检测元器件为真空规。

在本实用新型的优选实施方式中，所述抽真空系统还包括设置在所述真空腔室的外壁上的阀体歧块，所述进气阀和所述预抽阀安装在所述阀体歧块上。

在本实用新型的优选实施方式中，所述真空气路包括竖向开设在所述阀体歧块上的第一连接孔、第二连接孔，以及水平设置在阀体歧块上的第一连接通道和第二连接通道，所述第一连接通道的一端与所述过渡腔室连通而其另一端与所述第一连接孔连通；所述第二连接通道的一端与所述真空腔室连通而其另一端与所述第二连接孔连通；

真空气路还包括水平开设在阀体歧块上的第一通道和第二通道，所述第一通道的一端与第一连接孔连通而其另一端与所述进气阀的第一接口连通，所述第二通道的一端口与进气阀的第二接口连通而其另一端与外界大气连通；