[实用新型]一种COF制程蚀刻液自主回收系统及蚀刻系统有效
| 申请号： | 202120520075.8 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN214400728U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 陈文勇;左长云;张明超 | 申请（专利权）人： | 合肥颀中材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C23F1/08 |
| 代理公司： | 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276 | 代理人： | 谭新民 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cof 蚀刻 自主 回收 系统 | ||
1.一种COF制程蚀刻液自主回收系统，其特征在于：所述COF制程蚀刻液自主回收系统包括蚀刻上单元(20)、蚀刻下单元(1)、回收单元(2)、第一造液单元(3)、第一添加剂原液单元(4)、第二添加剂原液单元(5)、酸原液单元(6)、第一送液单元(10)、第二送液单元(9)、第二造液单元(8)和强氧化剂原液单元(7)，蚀刻上单元(20)与蚀刻下单元(1)通过管道连接，回收单元(2)分别与蚀刻下单元(1)和第一造液单元(3)通过管道连接，第一造液单元(3)还分别与第一添加剂原液单元(4)、第二添加剂原液单元(5)、酸原液单元(6)和第一送液单元(10)通过管道相连，第一送液单元(10)还与蚀刻下单元(1)通过管道相连，第二送液单元(9)分别与第二造液单元(8)和蚀刻下单元(1)通过管道相连，第二造液单元(8)还与强氧化剂原液单元(7)相连。
2.根据权利要求1所述的COF制程蚀刻液自主回收系统，其特征在于：所述COF制程蚀刻液自主回收系统还设置有取样口(11)，该取样口(11)设置在蚀刻下单元(1)上。
3.一种COF制程蚀刻液自主回收系统，其特征在于：所述COF制程蚀刻液自主回收系统包括蚀刻上单元(20)、蚀刻下单元(1)、平衡单元(21)、回收单元(2)、第一造液单元(3)、第一添加剂原液单元(4)、第二添加剂原液单元(5)、酸原液单元(6)、第一送液单元(10)、第二送液单元(9)、第二造液单元(8)和强氧化剂原液单元(7)，蚀刻上单元(20)与蚀刻下单元(1)通过管道连接，蚀刻下单元(1)与平衡单元(21)之间通过管道水平连通，平衡单元(21)还与蚀刻上单元(20)单元相连，回收单元(2)分别与蚀刻下单元(1)和第一造液单元(3)通过管道连接，第一造液单元(3)还分别与第一添加剂原液单元(4)、第二添加剂原液单元(5)、酸原液单元(6)和第一送液单元(10)通过管道相连，第一送液单元(10)还与蚀刻下单元(1)通过管道相连，第二送液单元(9)分别与第二造液单元(8)和蚀刻下单元(1)通过管道相连，第二造液单元(8)还与强氧化剂原液单元(7)相连。
4.根据权利要求3所述的COF制程蚀刻液自主回收系统，其特征在于：所述COF制程蚀刻液自主回收系统还设置有取样口(11)，该取样口(11)设置在蚀刻下单元(1)上。
5.一种COF制程蚀刻系统，包括第一水洗单元(12)、第二水洗单元(13)、酸洗单元(14)、第三水洗单元(15)和烘干单元(16)，其特征在于：所述COF制程蚀刻系统还包括权利要求1-4任一所述的COF制程蚀刻液自主回收系统，第一水洗单元(12)、蚀刻上单元(20)、第二水洗单元(13)、酸洗单元(14)、第三水洗单元(15)和烘干单元(16)顺次排列，蚀刻下单元(1)位于蚀刻上单元(20)下方。
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