[实用新型]一种厚度方向激励剪切模式的声学谐振器

权利要求书

1.一种厚度方向激励剪切模式的声学谐振器，其特征在于，包括：

声学镜，包括至少一第一声反射层和至少一第二声反射层，各所述第一声反射层的声阻抗小于各所述第二声反射层的声阻抗；

底电极层，位于所述声学镜上；

压电层，设于所述底电极层上，所述压电层包括单晶材料的铌酸锂和/或单晶材料的钽酸锂；

电极单元，设于所述压电层上；

横向反射器，设于所述压电层上，所述横向反射器用于对声波进行横向反射；

其中，所述底电极层和电极单元用于形成电场。

2.根据权利要求1所述的厚度方向激励剪切模式的声学谐振器，其特征在于，所述底电极层和电极单元形成的电场方向主要为所述压电层的厚度方向，所述底电极层和电极单元还用于在整个压电层的厚度上产生剪切模式的机械波。

3.根据权利要求1所述的厚度方向激励剪切模式的声学谐振器，其特征在于，离所述底电极层越远的第一声反射层的厚度越厚；离所述底电极层越远的第二声反射层的厚度越厚。

4.根据权利要求1所述的厚度方向激励剪切模式的声学谐振器，其特征在于，所述声学镜包括三层第一声反射层和两层第二声反射层，且声学镜中第一声反射层和第二声反射层交替设置。

5.根据权利要求1所述的厚度方向激励剪切模式的声学谐振器，其特征在于，存在一第一声反射层比所有的第二声反射层更靠近所述底电极层。

6.根据权利要求5所述的厚度方向激励剪切模式的声学谐振器，其特征在于，所述电极单元包括第一公共电极、第二公共电极、多条第一叉指电极及多条第二叉指电极，各所述第一叉指电极与所述第一公共电极电性连接，各所述第二叉指电极与所述第二公共电极电性连接，且各第一叉指电极与各第二叉指电极之间绝缘设置，所述第一公共电极用于接入输入电压，所述第二公共电极用于接地；所述横向反射器包括位于所述电极单元的第一侧的第一反射器和位于所述电极单元的第二侧的第二反射器，所述第一侧和第二侧为相对侧。

7.根据权利要求6所述的厚度方向激励剪切模式的声学谐振器，其特征在于，所述电极单元的两侧的横向反射器之间的连线方向为所述声波的传播方向；所述底电极层的宽度小于所述第一公共电极和第二公共电极之间的间距，从而使得所述底电极层在所述电极单元所在平面的正投影位于所述第一公共电极和第二公共电极之间；各所述第一声反射层和第二声反射层在所述平面的正投影在所述连线方向上超出所述第一反射器和第二反射器。

8.根据权利要求1或7所述的厚度方向激励剪切模式的声学谐振器，其特征在于，各所述第二声反射层在所述底电极层所在平面的正投影在第一方向上超出所述底电极层的两侧，或各所述第一声反射层和第二声反射层在所述底电极层所在平面的正投影被所述底电极层覆盖；

所述第一方向平行于所述声波的传播方向。

9.根据权利要求6所述的厚度方向激励剪切模式的声学谐振器，其特征在于，所述第一反射器和第二反射器均包括至少一条电极条，所述第一反射器中距离所述电极单元最近的一条电极条的中心与所述电极单元的第一侧边缘的叉指电极的中心的距离为1/8至2个所述声波的波长，所述第二反射器中距离所述电极单元最近的一条电极条的中心与所述电极单元的第二侧边缘的叉指电极的中心的距离为1/8至2个声波波长。

10.根据权利要求6所述的厚度方向激励剪切模式的声学谐振器，其特征在于，还包括设于所述第一公共电极上的第一金属件和第二公共电极上的第二金属件，所述第一金属件和第二金属件的厚度大于所述电极单元的厚度，所述第一金属件和第二金属件用于在第二方向上进行声学反射，所述第二方向垂直于所述声波的传播方向。