[实用新型]一种片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件

权利要求书

1.一种片状工件镀膜用装夹单元，其特征在于，包括：下托盘、内挡圈、外挡圈、多个紧固件(7)；

外挡圈和内挡圈位于下托盘上方，外挡圈包括第一骨架(31)和套设在第一骨架(31)外部的外圈体(32)，外圈体(32)通过第一骨架(31)与下托盘固定连接；

内挡圈位于外圈体(32)内部，内挡圈包括多个内支撑件，多个内支撑件沿外圈体(32)圆周分布，内支撑件设有与外圈体(32)配合的内支撑部和沿径向向远离所述内支撑部方向延伸的滑槽(2)；

多个紧固件(7)安装在第一骨架(31)上，每个紧固件(7)与一个内支撑件的滑槽(2)配合用于将内支撑件与第一骨架固定。

2.根据权利要求1所述的片状工件镀膜用装夹单元，其特征在于，内支撑件包括上顶片(21)和下顶片(22)，上顶片(21)和下顶片(22)平行于下托盘且二者间隔设置，滑槽(2)设置在上顶片(21)上，下顶片(22)通过螺柱(4)与上顶片(21)连接。

3.根据权利要求1所述的片状工件镀膜用装夹单元，其特征在于，所述内支撑部具有与外圈体(32)配合的弧形结构。

4.根据权利要求1所述的片状工件镀膜用装夹单元，其特征在于，第一骨架(31)和外圈体(32)之间形成多个第一散热开口。

5.根据权利要求1或4所述的片状工件镀膜用装夹单元，其特征在于，下托盘包括与第一骨架(31)配合的第二骨架(11)和套设在第二骨架(11)外部的支撑圈。

6.根据权利要求5所述的片状工件镀膜用装夹单元，其特征在于，第二骨架(11)和支撑圈之间形成多个第二散热开口。

7.根据权利要求5所述的片状工件镀膜用装夹单元，其特征在于，支撑圈外周设有沿圆周分布的多个支撑凸条(12)，相邻两个支撑凸条(12)间隔设置。

8.根据权利要求1所述的片状工件镀膜用装夹单元，其特征在于，第一骨架(31)上还设有与滑槽(2)配合的滑柱(6)。

9.一种片状工件镀膜用装夹组件，其特征在于，包括至少一个根据权利要求1-8任一项所述的片状工件镀膜用装夹单元。

10.根据权利要求9所述的片状工件镀膜用装夹组件，其特征在于，还包括中心支杆(5)，下托盘中部设有与中心支杆(5)配合的第一开口，第一骨架(31)上设有与中心支杆(5)配合的第二开口。

11.根据权利要求10所述的片状工件镀膜用装夹组件，其特征在于，多个所述装夹单元自上而下依次套设在中心支杆(5)外部，所述第一开口内壁设有第一限位结构，中心支杆(5)外壁设有与第一限位结构配合的第二限位结构。