[实用新型]一种片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件

说明书

本实用新型公开了一种片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件，内挡圈的多个内支撑件沿外圈体圆周分布，并且沿径向滑动安装在外挡圈的第一骨架上，下托盘位于内外挡圈下方，从而满足多品种多批次片状零件的快速装夹，可以大范围适应不同规格的片状零件要求，模块化的设计同时最大化的满足单盘的装片量，同时提供快速散热通道，夹具内部大面积无障碍气流通道，散热效果显著，此外夹具在前期的使用以及后期的维护和管理更加易操作，可大大的降低生产制造费用。

技术领域

本实用新型涉及片状工件镀膜装夹技术领域，尤其涉及一种片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件。

背景技术

目前,薄膜广泛应用于磁体,光学,半导体等领域,而薄膜制作通常以物理蒸镀法为主,(Physics Vapor Deposition简称PVD),在真空环境下,通过电压和磁场的共同作用,以被离化的惰性气体离子对靶材进行轰击,致使靶材以离子、原子或分子的形式被弹射出并沉积于基片上形成薄膜。片状工件在实际生产中呈现多规格，多批次，定制夹具只可以满足特定规格的工件固定和夹持，不可调节，另外夹具本身比较笨重，散热通道的狭窄，镀膜冷却时间长。由于夹具品种过于繁杂，通用性差，同时增加了夹具管理及维护成本。

实用新型内容

为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件。

本实用新型提出的一种片状工件镀膜用装夹单元，包括：下托盘、内挡圈、外挡圈、多个紧固件；

外挡圈和内挡圈位于下托盘上方，外挡圈包括第一骨架和套设在第一骨架外部的外圈体，外圈体通过第一骨架与下托盘固定连接；

内挡圈位于外圈体内部，内挡圈包括多个内支撑件，多个内支撑件沿外圈体圆周分布，内支撑件设有与外圈体配合的内支撑部和沿径向向远离所述内支撑部方向延伸的滑槽；

多个紧固件安装在第一骨架上，每个紧固件与一个内支撑件的滑槽配合用于将内支撑件与第一骨架固定。

优选地，内支撑件包括上顶片和下顶片，上顶片和下顶片平行于下托盘且二者间隔设置，滑槽设置在上顶片上，下顶片通过螺柱与上顶片连接。

优选地，所述内支撑部具有与外圈体配合的弧形结构。

优选地，第一骨架和外圈体之间形成多个第一散热开口。

优选地，下托盘包括与第一骨架配合的第二骨架和套设在第二骨架外部的支撑圈。

优选地，第二骨架和支撑圈之间形成多个第二散热开口。

优选地，支撑圈外周设有沿圆周分布的多个支撑凸条，相邻两个支撑凸条间隔设置。

优选地，第一骨架上还设有与滑槽配合的滑柱。

本实用新型还提出一种片状工件镀膜用装夹组件，包括至少一个上述的片状工件镀膜用装夹单元。

优选地，还包括中心支杆，下托盘中部设有与中心支杆配合的第一开口，第一骨架上设有与中心支杆配合的第二开口。

优选地，多个所述装夹单元自上而下依次套设在中心支杆外部，所述第一开口内壁设有第一限位结构，中心支杆外壁设有与第一限位结构配合的第二限位结构。

本实用新型中，所提出的片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件，内挡圈的多个内支撑件沿外圈体圆周分布，并且沿径向滑动安装在外挡圈的第一骨架上，下托盘位于内外挡圈下方，从而满足多品种多批次片状零件的快速装夹，可以大范围适应不同规格的片状零件要求，模块化的设计同时最大化的满足单盘的装片量，同时提供快速散热通道，夹具内部大面积无障碍气流通道，散热效果显著，此外夹具在前期的使用以及后期的维护和管理更加易操作，可大大的降低生产制造费用。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种片状工件镀膜用装夹单元的立体结构示意图。