[实用新型]一种快拆式TO56管座共晶台有效
申请号: | 202120545333.8 | 申请日: | 2021-03-16 |
公开(公告)号: | CN214672524U | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
发明(设计)人: | 凌涵君 | 申请(专利权)人: | 深圳市锐博自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687;H01L21/677 |
代理公司: | 深圳市科冠知识产权代理有限公司 44355 | 代理人: | 蒋芳霞 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区石岩*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 快拆式 to56 管座共晶台 | ||
1.一种快拆式TO56管座共晶台,其特征在于,包括固定管座的管座固定台,和定位所述管座固定台的底座;所述管座固定台的左右侧壁上均设有定位臂,所述底座上设有供所述定位臂插入的定位槽;所述的快拆式TO56管座共晶台还包括将所述定位臂抵紧在所述定位槽内的限位臂。
2.根据权利要求1所述的快拆式TO56管座共晶台,其特征在于,所述定位臂的侧表面上设有朝向所述定位槽的第一定位斜面,所述定位槽的内侧壁上设有与所述第一定位斜面适配的第二定位斜面。
3.根据权利要求2所述的快拆式TO56管座共晶台,其特征在于,所述底座上位于所述管座固定台的左右两侧均设有凸台,装配到位时,两所述凸台均与所述管座固定台紧贴,所述定位槽位于所述凸台的前侧侧壁上,所述第一定位斜面位于所述定位臂的上表面上。
4.根据权利要求3所述的快拆式TO56管座共晶台,其特征在于,所述定位槽左右贯穿所述凸台,所述定位臂背离所述管座固定台的一端设有伸出所述定位槽的延伸段;所述的快拆式TO56管座共晶台还包括向前推动所述延伸段以将所述定位臂移出所述定位槽的回退推动件,所述底座上设有定位所述回退推动件的固定架。
5.根据权利要求1所述的快拆式TO56管座共晶台,其特征在于,所述的快拆式TO56管座共晶台还包括调节所述限位臂与所述定位臂分离的调节组件,所述调节组件包括滑座、固定在所述滑座上以供所述限位臂朝向或背离所述定位臂滑动的滑轨,和推动所述限位臂滑动的抵紧推动件。
6.根据权利要求1所述的快拆式TO56管座共晶台,其特征在于,所述的快拆式TO56管座共晶台还包括固定所述底座的共晶台固定座、将管座固定在所述管座固定台上的管座定位机械手、驱动所述共晶台固定座升降的高度调整机构、防止管座加热氧化的惰性气体保护机构,和对位于所述管座固定台上的经过共晶焊接后的管座进行冷却的惰性气体冷却机构。
7.根据权利要求6所述的快拆式TO56管座共晶台,其特征在于,所述的快拆式TO56管座共晶台还包括安装所述共晶台固定座的安装支架,所述安装支架上设有供所述共晶台固定座上下滑动的滑动模块,所述高度调整机构包括分别驱动所述滑动模块上升驱动器和下降驱动器,所述管座定位机械手设置在所述共晶台固定座的前端,所述惰性气体保护机构和所述惰性气体冷却机构均设置在所述底座的后侧且均固定在所述共晶台固定座上。
8.根据权利要求1所述的快拆式TO56管座共晶台,其特征在于,所述管座固定台的底部设有定位孔,所述底座上设有与所述定位孔匹配的定位销。
9.根据权利要求1所述的快拆式TO56管座共晶台,其特征在于,所述的快拆式TO56管座共晶台还包括将管座移到所述管座固定台上的管座上料机械手。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造