[实用新型]一种反应源加热装置

权利要求书

1.一种反应源加热装置，包括反应源瓶，其特征在于：还包括加热器、金属热反射板以及反应源控制阀门，所述金属热反射板套设于所述加热器的外周并与加热器同轴设置，所述金属热反射板的内壁与加热器的外壁之间设置有隔热层，所述加热器内开设有用于放置所述反应源瓶的容置腔，所述反应源控制阀门用于控制反应源瓶内物质的输出与否；所述金属热反射板开设有第一过孔，所述反应源控制阀门的外壁与所述第一过孔的孔壁贴合。

2.根据权利要求1所述一种反应源加热装置，其特征在于：所述金属热反射板为铝板。

3.根据权利要求1所述一种反应源加热装置，其特征在于：所述隔热层为空气。

4.根据权利要求1所述一种反应源加热装置，其特征在于：所述反应源加热装置还包括隔热套，所述隔热套套设于所述金属热反射板的外周，所述隔热套开设有第二过孔，所述第二过孔的孔径与所述第一过孔的孔径相同。

5.根据权利要求4所述一种反应源加热装置，其特征在于：所述隔热套为硅胶材料制成。

6.根据权利要求1所述一种反应源加热装置，其特征在于：所述加热器为金属材料制成。

7.根据权利要求1所述一种反应源加热装置，其特征在于：所述加热器包括第一半管、第二半管以及加热棒，所述第一半管以及第二半管可拆卸连接，所述第一半管与第二半管组装后形成所述容置腔，所述第一半管以及第二半管内均装设有所述加热棒。

8.根据权利要求7所述一种反应源加热装置，其特征在于：所述第一半管与所述第二半管的结构相同。

9.根据权利要求1所述一种反应源加热装置，其特征在于：所述反应源加热装置还包括有测温件，所述测温件用于检测加热器以及反应源瓶的温度。