[实用新型]一种反应源加热装置

说明书

本实用新型涉及加热技术领域，尤其是指一种反应源加热装置，包括反应源瓶，还包括加热器、金属热反射板以及反应源控制阀门，所述金属热反射板套设于所述加热器的外周并与加热器同轴设置，所述金属热反射板的内壁与加热器的外壁之间设置有隔热层，所述加热器内开设有用于放置所述反应源瓶的容置腔，所述反应源控制阀门用于控制反应源瓶内物质的输出与否；所述金属热反射板开设有第一过孔，所述反应源控制阀门的外壁与所述第一过孔的孔壁贴合。本实用新型提供的一种反应源加热装置，使加热器内发热均匀同时保证反应源瓶、阀门等温场按需求均匀分布。

技术领域

本实用新型涉及加热技术领域，尤其是指一种反应源加热装置。

背景技术

现有技术中常用的加热管路是在反应装置的外部直接包裹加热层，该加热层是直接将加热丝设置在柔性编织类绝缘材料里面设置而成，再在加热层上开孔安装阀门，在开孔处，由于加热层与阀门的接触不够紧密，以及柔性编织物导热性不佳，所以在开孔位置等异形结构处的温度容易降低，导致整个加热管路加热不均匀的问题，并且，加热丝容易损坏，而该加热层不便于维修，通常只能选择整个更换。另外，也有采用管道的设计，但是在阀门处，由于阀门与加热管道贴合不严密，有缝隙，则容易导致加热的管道内温度不均匀，特别是在阀门或连接接头等异形结构处的温度，会低于反应源处的温度，所以说，反应源在加热上升的过程中，会出现温度下降的情况，从而影响反应源物质蒸汽压稳定性，进一步影响薄膜沉积工艺。

发明内容

本实用新型针对现有技术的问题提供一种反应源加热装置，加热器加热，隔热层可以阻隔温度的散失，再设置金属热反射板，进一步提升加热的均匀性同时阻止热量散失，反应源控制阀门及用于与加热器连接的加热管道接头等异形处均与金属的加热器内壁完美贴合，从而保证加热器内反应源瓶及阀门管道的的温场按需求均匀分布。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种反应源加热装置，包括反应源瓶，还包括加热器、金属热反射板以及反应源控制阀门，所述金属热反射板套设于所述加热器的外周并与加热器同轴设置，所述金属热反射板的内壁与加热器的外壁之间设置有隔热层，所述加热器内开设有用于放置所述反应源瓶的容置腔，所述控制开关用于控制反应源瓶内物质的输出与否；所述金属热反射板开设有第一过孔，所述反应源控制阀门的外壁与所述第一过孔的孔壁贴合。

优选的，所述金属热反射板为铝板。

优选的，所述隔热层为空气。

优选的，所述反应源加热装置还包括隔热套，所述隔热套套设于所述金属热反射板的外周，所述隔热套开设有第二过孔，所述第二过孔的孔径与所述第一过孔的孔径相同。

优选的，所述隔热套为硅胶材料制成。

优选的，所述加热器为金属材料制成。

优选的，所述加热器包括第一半管、第二半管以及加热棒，所述第一半管以及第二半管可拆卸连接，所述第一半管与第二半管组装后形成所述容置腔，所述第一半管以及第二半管内均装设有所述加热棒。

优选的，所述第一半管与所述第二半管的结构相同。

优选的，所述反应源加热装置还包括有测温件，所述测温件用于检测加热器以及反应源瓶的温度。

本实用新型的有益效果：