[实用新型]一种新型吸盘

权利要求书

1.一种新型吸盘,其特征在于：包括成对设置的第一吸盘和第二吸盘，第一吸盘和第二吸盘交错排列，第一吸盘包括进气部、吸取部、吸盘侧部以及封部，进气部与吸盘侧部位于同侧，第二吸盘包括进气板、吸取板、吸盘侧板以及封板，进气板与吸盘侧板位于不同侧。

2.根据权利要求1所述的一种新型吸盘，其特征在于：所述第一吸盘上固设有进气槽和吸取槽，第二吸盘上固设有通气槽和吸片槽，进气槽与吸取槽通过通孔进行气体流通，通气槽和吸片槽通过穿孔进行气体流通，相邻的第一吸盘以及第二吸盘间形成间隙槽，硅片吸取进入间隙槽内。

3.根据权利要求1所述的一种新型吸盘，其特征在于：所述进气部和吸取部间连接有连接部，连接部设置为L型结构，包括水平连接部和竖直连接部，水平连接部与吸取部通过斜台平滑连接，竖直连接部与进气部固设连接。

4.根据权利要求1所述的一种新型吸盘，其特征在于：所述吸取部设置为平板结构，吸取部的前后侧面依次设置为吸取面和进气面，吸取槽位于吸取面上，进气槽位于进气面上，吸盘侧部设置有一组，进气部、吸取部以及一组吸盘侧部形成T型结构，一组吸盘侧部固设于吸取部的侧面，进气槽包括依次连通进气部、连接部和吸取部的进气槽一以及位于吸盘侧部上的进气槽二，进气槽一以及进气槽二形成T型结构，吸取槽包括位于吸取部的吸取槽一以及位于吸盘侧部上的吸取槽二，吸取槽一与进气槽一位置相对，吸取槽二与进气槽二位置相对，通孔数量设置有四组，其中一组通孔贯穿进气槽二和吸取槽二，另外三组通孔贯穿在进气槽一和吸取槽一。

5.根据权利要求1所述的一种新型吸盘，其特征在于：所述吸取部设置为平板结构，吸取部的前后侧面依次设置为吸取面和进气面，吸取槽位于吸取面上，进气槽位于进气面上，吸盘侧部设置有两组，进气部、吸取部以及两组吸盘侧部形成F型结构，两组吸盘侧部固设于吸取部的侧面，进气槽包括依次连通进气部、连接部和吸取部的进气槽一以及位于吸盘侧部上的进气槽二，进气槽一以及进气槽二形成F型结构，吸取槽包括位于吸取部的吸取槽一以及位于吸盘侧部上的吸取槽二，吸取槽一与进气槽一位置相对，吸取槽二与进气槽二位置相对，通孔数量设置有五组，两组通孔贯穿进气槽二和吸取槽二，另外三组通孔贯穿在进气槽一和吸取槽一。

6.根据权利要求3所述的一种新型吸盘，其特征在于：所述第一吸盘的连接部以及第二吸盘的连接板分别固设有第一压腔和第二压腔，通过第一压腔和第二压腔限制第一吸盘和第二吸盘的横向移动。

7.根据权利要求1所述的一种新型吸盘，其特征在于：所述第一吸盘、第二吸盘设为一体成型结构。

8.根据权利要求3所述的一种新型吸盘，其特征在于：所述进气部的侧面、连接部的侧面以及吸取部的进气面处于同一竖直面上。

9.根据权利要求1所述的一种新型吸盘，其特征在于：所述吸取部以及吸盘侧部的侧边设置为楔形结构，便于吸取和分离硅片时硅片的导入和导出。

10.根据权利要求3所述的一种新型吸盘，其特征在于：所述斜台与水平连接部和吸取部所成角度为钝角；间隙槽的间隙宽度大于两组硅片的厚度；竖直连接部与进气部连接位置的横截面面积大于进气部与竖直连接部连接位置的横截面面积；连接部的厚度大于进气部、吸取部以及吸盘侧部的厚度。