[实用新型]检测系统有效
申请号: | 202120548775.8 | 申请日: | 2021-03-17 |
公开(公告)号: | CN214953089U | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 白园园;马砚忠;陈鲁;张嵩 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/01 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 邵泳城 |
地址: | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 系统 | ||
1.一种检测系统,其特征在于,所述检测系统包括:
检测光路,检测光沿所述检测光路传输至待检测件;
泵浦光路,泵浦光沿所述泵浦光路传输至所述待检测件;及
光检测器,所述光检测器同时位于所述检测光路及所述泵浦光路,所述光检测器用于接收至少部分所述检测光及所述泵浦光,并检测接收到的所述检测光及/或所述泵浦光的功率,以根据所述功率调整所述检测光及/或所述泵浦光的光源的发光功率。
2.根据权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述检测系统中存在所述检测光路与所述泵浦光路互相平行的光传输段,所述光检测器设置于所述平行的光传输段。
3.根据权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述检测系统还包括:
光源,所述光源用于出射信号光;及
分束器,所述分束器用于将所述信号光分成所述检测光和所述泵浦光。
4.根据权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述检测系统中存在所述检测光路与所述泵浦光路不平行的光传输段,所述光检测器设置于所述不平行的光传输段的交点前的预设距离范围内。
5.根据权利要求4所述的检测系统,其特征在于,所述光检测器包括第一光功率计、第二光功率计及光束采样镜,所述光束采样镜同时位于所述检测光路及所述泵浦光路;
所述光束采样镜用于将预设比例的所述检测光反射至所述第一光功率计、及将预设比例的所述泵浦光反射至所述第二光功率计,所述第一光功率计用于接收反射的所述检测光以检测第一功率;所述第二光功率计用于接收反射的所述泵浦光以检测第二功率;或
所述光束采样镜用于将预设比例的所述检测光透射至所述第一光功率计、及将预设比例的所述泵浦光透射至所述第二光功率计,所述第一光功率计用于接收透射的所述检测光以检测第一功率;所述第二光功率计用于接收透射的所述泵浦光以检测第二功率。
6.根据权利要求1-4任意一项所述的检测系统,其特征在于,所述光检测器包括光功率计及光束采样镜,所述光束采样镜同时位于所述检测光路及所述泵浦光路;
所述光束采样镜用于将预设比例的所述检测光反射至所述光功率计、及将预设比例的所述泵浦光反射至所述光功率计,所述光功率计用于接收反射的所述检测光及反射的所述泵浦光并检测接收到的所述检测光及所述泵浦光的总功率;或
所述光束采样镜用于将预设比例的所述检测透射至所述光功率计、及将预设比例的所述泵浦光透射至所述光功率计,所述光功率计接收透射的所述检测光及透射的所述泵浦光并检测接收到的所述检测光及所述泵浦光的总功率。
7.根据权利要求6所述的检测系统,其特征在于,所述光检测器还包括设置在所述光功率计与所述光束采样镜之间的会聚透镜,所述会聚透镜用于会聚所述检测光及所述泵浦光至所述光功率计。
8.根据权利要求1-4任意一项所述的检测系统,其特征在于,所述光检测器包括光功率计、第一光束采样镜及第二光束采样镜,所述第一光束采样镜位于所述检测光路,所述第二光束采样镜位于所述泵浦光路;
所述第一光束采样镜用于将预设的第一比例的所述检测光反射至所述光功率计;所述第二光束采样镜用于将预设的第二比例的所述泵浦光反射至所述光功率计,所述光功率计用于接收反射的所述检测光及反射的所述泵浦光并检测接收到的所述检测光及所述泵浦光的总功率;或
所述第一光束采样镜用于将预设的第一比例的所述检测光透射至所述光功率计;所述第二光束采样镜用于将预设的第二比例的所述泵浦光透射至所述光功率计,所述光功率计用于接收透射的所述检测光及透射的所述泵浦光并检测接收到的所述检测光及所述泵浦光的总功率。
9.根据权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述检测系统还包括移动平台,所述光检测器活动安装于所述移动平台,所述光检测器能够相对所述移动平台运动,以使所述光检测器可以活动地位于或不位于所述检测光路及所述泵浦光路的至少一个中。
10.根据权利要求1所述的检测系统,其特征在于,所述检测系统还包括第一回射器和第二回射器;所述第一回射器设置于所述检测光路,移动所述第一回射器能够调整所述检测光在所述检测光路的光程;所述第二回射器设置于所述泵浦光路,移动所述第二回射器能够调整所述泵浦光在所述泵浦光路的光程。
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