[实用新型]检测系统

说明书

本申请公开了一种检测系统，检测系统包括检测光路、泵浦光路和光检测器，检测光沿检测光路传输至待检测件；泵浦光沿泵浦光路传输至待检测件；光检测器同时位于检测光路及泵浦光路，光检测器用于接收至少部分检测光及泵浦光，并检测接收到的检测光及/或泵浦光的功率，以根据功率调整检测光及/或泵浦光的光源的发光功率。通过设置光检测器检测接收到的检测光及/或泵浦光的功率，使得可以根据功率及时调整检测光及/或泵浦光的光源的发光功率，以使待检测件上的检测光及\或泵浦光合理，不易出现过多及过少的情况。

技术领域

本申请涉及检测技术领域，更具体而言，涉及一种检测系统。

背景技术

泵浦光需要照射到样品表面以激发样品产热，进一步形成声脉冲，泵浦光的功率强度需要控制在预定的范围。但是泵浦光的光源在不同的使用状态下，泵浦光的光源的发光功率可能会产生波动，会导致泵浦光的功率过大或者过小，功率过大容易损伤样品，功率过小不容易激发形成声脉冲。

同时，检测光需要照射到样品表面以对样品进行检测。但是检测光的光源在不同的使用状态下，检测光的光源的发光功率可能会产生波动，会导致检测光的功率过大或者过小，功率过大容易损伤样品，功率过小导致获取到的图像不清晰。

实用新型内容

本申请实施方式提供一种检测系统。

本申请实施方式的检测系统包括检测光路、泵浦光路和光检测器，检测光沿所述检测光路传输至待检测件；泵浦光沿所述泵浦光路传输至所述待检测件；所述光检测器同时位于所述检测光路及所述泵浦光路，所述光检测器用于接收至少部分所述检测光及所述泵浦光，并检测接收到的所述检测光及/或所述泵浦光的功率，以根据所述功率调整所述检测光及/或所述泵浦光的光源的发光功率。

在某些实施方式中，所述检测系统中存在所述检测光路与所述泵浦光路相互平行的光传输段，所述光检测器设置于所述平行的光传输段。

在某些实施方式中，所述检测系统还包括光源及分束，所述光源用于出射信号光；所述分束器用于将所述信号光分成所述检测光和所述泵浦光。

在某些实施方式中，所述检测系统中存在所述检测光路与所述泵浦光路两个不平行的光传输段，所述光检测器设置于两个所述不平行的光传输段的交点前的预设距离范围内。

在某些实施方式中，所述光检测器包括第一光功率计、第二光功率计及光束采样镜，所述光束采样镜同时位于所述检测光路及所述泵浦光路；所述光束采样镜用于将预设比例的所述检测光反射至所述第一光功率计、及将预设比例的所述泵浦光反射至所述第二光功率计，所述第一光功率计用于接收反射的所述检测光以检测第一功率；所述第二光功率计用于接收反射的所述泵浦光以检测第二功率。

在某些实施方式中，所述光检测器包括第一光功率计、第二光功率计及光束采样镜，所述光束采样镜同时位于所述检测光路及所述泵浦光路；所述光束采样镜用于将预设比例的所述检测光透射至所述第一光功率计、及将预设比例的所述泵浦光透射至所述第二光功率计，所述第一光功率计用于接收透射的所述检测光以检测第一功率；所述第二光功率计用于接收透射的所述泵浦光以检测第二功率。

在某些实施方式中，所述光检测器包括光功率计及光束采样镜，所述光束采样镜同时位于所述检测光路及所述泵浦光路；所述光束采样镜用于将预设比例的所述检测光反射至所述光功率计、及将预设比例的所述泵浦光反射至所述光功率计，所述光功率计用于接收反射的所述检测光及反射的所述泵浦光并检测接收到的所述检测光及所述泵浦光的总功率。

在某些实施方式中，所述光检测器包括光功率计及光束采样镜，所述光束采样镜同时位于所述检测光路及所述泵浦光路；所述光束采样镜用于将预设比例的所述检测透射至所述光功率计、及将预设比例的所述泵浦光透射至所述光功率计，所述光功率计用于接收透射的所述检测光及透射的所述泵浦光并检测接收到的所述检测光及所述泵浦光的总功率。