[实用新型]一种适用于真空原位传样的电输运样品台有效

专利信息
申请号: 202120564387.9 申请日: 2021-03-19
公开(公告)号: CN214503868U 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 艾金虎 申请(专利权)人: 埃频(上海)仪器科技有限公司
主分类号: G01R33/12 分类号: G01R33/12;G01R31/00;G01R1/02;G01R1/04
代理公司: 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 代理人: 张瑞莹;张东梅
地址: 201415 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 适用于 真空 原位 输运 样品
【权利要求书】:

1.一种适用于真空原位传样的电输运样品台,其特征在于,包括:

样品基座,其侧壁内部具有板槽,使得样品托能够插入所述板槽,进而放置于所述样品基座上;

插针基座,其设置于所述样品基座的上方,且被配置为能够相对于所述样品基座上下移动,使得插针的一端能够与样品的电极脱开或接触;以及

插针,其固定于所述插针基座上,所述插针穿透所述插针基座,且与测试系统电连接。

2.如权利要求1所述的电输运样品台,其特征在于,所述插针与所述插针基座之间设置有绝缘环。

3.如权利要求1所述的电输运样品台,其特征在于,所述插针基座别=被配置为能够沿第一导向杆相对于所述样品基座上下移动,其中,所述第一导向杆的一端固定连接于所述样品基座上。

4.如权利要求3所述的电输运样品台,其特征在于,所述第一导向杆与所述插针基座之间设置有第一润滑环。

5.如权利要求1所述的电输运样品台,其特征在于,所述样品基座与插针基座之间连接有一个或多个拉簧。

6.如权利要求1所述的电输运样品台,其特征在于,还包括驱动模块,其被配置为能够驱动所述插针基座上下移动。

7.如权利要求6所述的电输运样品台,其特征在于,所述驱动模块包括:

导向槽,其设置于所述插针基座的底部边缘,且其中心轴与所述插针基座的中心轴位于同一直线上;以及

驱动杆,其被配置为能够沿所述导向槽往复运动,且所述驱动杆的顶面包括斜面。

8.如权利要求7所述的电输运样品台,其特征在于,所述驱动模块还包括:

第二导向杆,其水平固定于所述样品基座的侧面;以及

驱动板,其与所述驱动杆固定连接,并被配置为能够沿所述第二导向杆移动,进而使得所述驱动杆沿所述导向槽移动。

9.如权利要求8所述的电输运样品台,其特征在于,所述驱动模块还包括控制杆,其包括:

连接部,其包括外螺纹,通过螺纹连接的方式,将所述驱动板连接至所述样品基座的侧面,且所述控制杆的末端通过卡簧与所述样品基座固定;以及

控制部,其设置于所述连接部的一端,且其结构与所述样品托的把手结构相同。

10.如权利要求8所述的电输运样品台,其特征在于,所述驱动板与所述样品基座之间设置有一个或多个压簧。

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