[实用新型]一种适用于真空原位传样的电输运样品台有效
申请号: | 202120564387.9 | 申请日: | 2021-03-19 |
公开(公告)号: | CN214503868U | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
发明(设计)人: | 艾金虎 | 申请(专利权)人: | 埃频(上海)仪器科技有限公司 |
主分类号: | G01R33/12 | 分类号: | G01R33/12;G01R31/00;G01R1/02;G01R1/04 |
代理公司: | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人: | 张瑞莹;张东梅 |
地址: | 201415 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 真空 原位 输运 样品 | ||
1.一种适用于真空原位传样的电输运样品台,其特征在于,包括:
样品基座,其侧壁内部具有板槽,使得样品托能够插入所述板槽,进而放置于所述样品基座上;
插针基座,其设置于所述样品基座的上方,且被配置为能够相对于所述样品基座上下移动,使得插针的一端能够与样品的电极脱开或接触;以及
插针,其固定于所述插针基座上,所述插针穿透所述插针基座,且与测试系统电连接。
2.如权利要求1所述的电输运样品台,其特征在于,所述插针与所述插针基座之间设置有绝缘环。
3.如权利要求1所述的电输运样品台,其特征在于,所述插针基座别=被配置为能够沿第一导向杆相对于所述样品基座上下移动,其中,所述第一导向杆的一端固定连接于所述样品基座上。
4.如权利要求3所述的电输运样品台,其特征在于,所述第一导向杆与所述插针基座之间设置有第一润滑环。
5.如权利要求1所述的电输运样品台,其特征在于,所述样品基座与插针基座之间连接有一个或多个拉簧。
6.如权利要求1所述的电输运样品台,其特征在于,还包括驱动模块,其被配置为能够驱动所述插针基座上下移动。
7.如权利要求6所述的电输运样品台,其特征在于,所述驱动模块包括:
导向槽,其设置于所述插针基座的底部边缘,且其中心轴与所述插针基座的中心轴位于同一直线上;以及
驱动杆,其被配置为能够沿所述导向槽往复运动,且所述驱动杆的顶面包括斜面。
8.如权利要求7所述的电输运样品台,其特征在于,所述驱动模块还包括:
第二导向杆,其水平固定于所述样品基座的侧面;以及
驱动板,其与所述驱动杆固定连接,并被配置为能够沿所述第二导向杆移动,进而使得所述驱动杆沿所述导向槽移动。
9.如权利要求8所述的电输运样品台,其特征在于,所述驱动模块还包括控制杆,其包括:
连接部,其包括外螺纹,通过螺纹连接的方式,将所述驱动板连接至所述样品基座的侧面,且所述控制杆的末端通过卡簧与所述样品基座固定;以及
控制部,其设置于所述连接部的一端,且其结构与所述样品托的把手结构相同。
10.如权利要求8所述的电输运样品台,其特征在于,所述驱动板与所述样品基座之间设置有一个或多个压簧。
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