[实用新型]一种适用于真空原位传样的电输运样品台

说明书

本实用新型公开一种适用于真空原位传样的电输运样品台，包括样品基座，其侧壁内部具有板槽，使得样品托能够插入板槽，进而放置于所样品基座上；插针基座，其设置于样品基座的上方，能够相对于样品基座上下移动，使得固定于其上的插针的一端能够与样品的电极脱开或接触，插针的另一端与测试系统电连接。

技术领域

本实用新型涉及真空装置技术领域，特别涉及一种适用于真空原位传样的电输运样品台。

背景技术

电输运测量作为研究材料物理性质的基本实验手段，是指通过测量磁电阻和反常霍尔效应得到样品的能带和自旋等参数。在对样品进行电输运测量前，需要实现样品与测量系统的电连接。目前，一般是在样品生长好以后，将样品固定到一个带电极的样品座上，然后使用金属丝，将样品接到所述样品座的电极上，然后将所述样品座传输到测量系统中进行测量。在此过程中，为了完成接线操作，样品需要暴露于大气中进行操作。而样品暴露在空气中，表面会吸附气体、水份等，可能会对样品性能造成影响。同时，对于一些活性较高的样品，很容易被空气中的氧气氧化变性。

实用新型内容

针对现有技术中的部分或全部问题，本实用新型提供一种适用于真空原位传样的电输运样品台，包括：

样品基座，其侧壁内部具有板槽，样品托能够插入所述板槽，进而放置于所述基座上；

插针基座，其设置于所述样品基座的上方，能够相对于所述样品基座上下移动，使插针的一端能够与样品的电极脱开或接触；以及

插针，其固定于所述插针基座上，所述插针穿透所述插针基座，且与测试系统电连接。

进一步地，所述样品固定于所述样品托上。

进一步地，所述样品通过真空胶水固定于所述样品托上。

进一步地，所述样品的电极在样品生长完成后，通过掩膜版，在样品上生长形成。

进一步地，所述插针与所述插针基座之间设置有绝缘环。

进一步地，所述插针基座能够沿第一导向杆相对于所述样品基座上下移动，所述第一导向杆的一端固定连接于所述样品基座上。

进一步地，所述第一导向杆与所述插针基座之间设置有第一润滑环。

进一步地，所述样品基座与插针基座之间连接有一个或多个拉簧。

进一步地，所述电输运样品台还包括驱动模块，其用于驱动所述插针基座上下移动。

进一步地，所述驱动模块包括：

导向槽，其设置于所述插针基座的底部边缘，且其中心轴与所述插针基座的中心轴位于同一直线上；以及

驱动杆，其能够沿所述导向槽往复运动，所述驱动杆的顶面包括斜面。

进一步地，所述驱动模块还包括：

第二导向杆，其水平固定于所述样品基座的侧面；以及

驱动板，其与所述驱动杆固定连接，并能够沿所述第二导向杆移动，进而使得所述驱动杆沿所述导向槽移动。

进一步地，所述驱动模块还包括控制杆，其包括：

连接部，其包括外螺纹，通过螺纹连接的方式，将所述驱动板连接至所述样品基座的侧面，且所述控制杆的末端通过卡簧与所述样品基座固定；以及

控制部，其设置于所述连接部的一端，且其结构与所述样品托的把手结构相同。

进一步地，所述连接部与控制部的连接处设置有凸台。

进一步地，所述驱动板与所述样品基座之间设置有一个或多个压簧。