[实用新型]链式滚涂装置

权利要求书

1.链式滚涂装置，其特征在于，包括：用于传送硅片的辊道，以及用于对辊道上硅片滚涂掺杂源的平置涂液辊；

所述辊道包括：沿辊道传送方向依次设置的多个传送辊，以及驱动该多个传送辊转动的传动机构；该多个传送辊平置且相互平行；

所述涂液辊与传送辊平行；涂液辊配有驱动其转动的同步轮，同步轮位于涂液辊轴向一端外侧，同步轮的轴心与涂液辊的轴心平行，且同步轮的轴心与涂液辊的轴心位于同一竖直平面；同步轮配有驱动其转动的驱动机构；

所述同步轮还设有安装孔，安装孔为直条孔，安装孔沿同步轮的径向延伸，且安装孔跨越同步轮的轴心；同步轮的外侧还设有接近开关，且接近开关与同步轮的轴心位于同一竖直平面；同步轮上还设有可被接近开关感应的触发件，触发件位于安装孔外部，且触发件与安装孔位于同一直线；触发件可随同步轮转动，且触发件转动至可被接近开关感应的位置时，触发件转动至与同步轮轴心位于同一竖直平面；

所述涂液辊通过连接轴与同步轮装配；连接轴包括：与涂液辊连接、且与涂液辊共轴心的轴主体，以及由轴主体远离涂液辊一端延伸出、且插入安装孔中的轴凸部；轴凸部与安装孔滑动配合；

所述连接轴的轴主体配有支承其转动的转动支承装置，转动支承装置位于涂液辊和同步轮之间；转动支承装置配有驱动其垂直升降的第一升降驱动装置；

所述涂液辊的正上方还设有测距传感器。

2.根据权利要求1所述的链式滚涂装置，其特征在于，所述同步轮、接近开关、第一升降驱动装置、测距传感器都由机架支承。

3.根据权利要求2所述的链式滚涂装置，其特征在于，所述涂液辊配有向其供应掺杂源的供料机构；供料机构包括由机架支承的：用于存储液态掺杂源的储液槽，以及将储液槽中的掺杂源转移至涂液辊的带液辊和挤液辊；带液辊、挤液辊都平置且都与传送辊平行；带液辊的下部浸入储液槽中，带液辊的上部位于储液槽上方；涂液辊位于储液槽外侧；挤液辊位于带液辊和涂液辊之间，且挤液辊的底部两侧分别与带液辊、涂液辊接触。

4.根据权利要求3所述的链式滚涂装置，其特征在于，所述机架配有驱动其垂直升降的第二升降驱动装置。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的链式滚涂装置，其特征在于，所述安装孔为矩形孔，轴凸部为方棒状。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的链式滚涂装置，其特征在于，所述轴凸部与轴主体共轴心。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的链式滚涂装置，其特征在于，所述转动支承装置包括：套装在轴主体上的轴承，以及分别与轴承、第一升降驱动装置连接的连接件。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的链式滚涂装置，其特征在于，所述第一升降驱动装置为直线电机或气缸。

9.根据权利要求1至4中任一项所述的链式滚涂装置，其特征在于，所述触发件设置在同步轮的外端面上。

10.根据权利要求1至4中任一项所述的链式滚涂装置，其特征在于，所述接近开关位于同步轮上方，触发件伸至同步轮外围。