[实用新型]链式滚涂装置

说明书

本实用新型公开了一种链式滚涂装置，包括涂液辊和同步轮；同步轮上设有安装孔，同步轮的外侧设有接近开关，同步轮上还设有可被接近开关感应的触发件；涂液辊通过连接轴与同步轮的安装孔装配；连接轴的轴主体配有支承其转动的转动支承装置，转动支承装置配有驱动其垂直升降的第一升降驱动装置；涂液辊的正上方还设有测距传感器。本实用新型链式滚涂装置，其能调节涂液辊和挤液辊的间距，可控制涂液辊对挤液辊的压入量，还能实现涂液辊与挤液辊脱离，避免因涂液辊在停机后还处于局部挤压状态而导致涂液辊变形严重，进而提高涂液辊的使用寿命，保证滚涂效果。本实用新型链式滚涂装置可应用于链式扩散工艺、链式吸杂处理工艺或激光掺杂SE工艺。

技术领域

本实用新型涉及光伏领域，具体涉及一种链式滚涂装置。

背景技术

太阳能电池生产过程中，需要对硅片进行掺杂扩散处理。掺杂扩散可分为源沉积、源推进两个步骤。源沉积是将掺杂源沉积在硅片表面。源推进是对沉积有掺杂源的硅片进行热处理，使掺杂元素扩散进硅片内部。

源沉积可采用液态掺杂源，并采用涂液辊将液态掺杂源均匀滚涂在硅片表面，为了向涂液辊供应液态掺杂源，需要给涂液辊配置挤液辊、带液辊和储液槽，储液槽存储液态掺杂源，带液辊的下部浸入储液槽中，带液辊的上部位于储液槽上方，涂液辊位于储液槽外侧，挤液辊位于带液辊和涂液辊之间，且挤液辊的两侧分别与带液辊、涂液辊接触；带液辊从储液槽中带出液态掺杂源，带液辊上的掺杂源传至挤液辊，再经挤液辊滚匀后传至涂液辊并由涂液辊涂覆在硅片表面。

为了不损伤硅片，涂液辊会采用外表面柔软的海绵辊，滚涂过程中，为了保证挤液辊能将掺杂源稳定地传至海绵辊，需要控制海绵辊对挤液辊的压入量，使海绵辊与挤液辊接触的部位处于局部挤压状态。而停机后，如果海绵辊长时间处于局部挤压状态，会导致海绵辊变形严重，进而影响滚涂效果。这就需要设计一种能调节涂液辊位置的链式滚涂装置。

实用新型内容

本实用新型提供一种能调节涂液辊位置的链式滚涂装置，包括：用于传送硅片的辊道，以及用于对辊道上硅片滚涂掺杂源的平置涂液辊；

所述辊道包括：沿辊道传送方向依次设置的多个传送辊，以及驱动该多个传送辊转动的传动机构；该多个传送辊平置且相互平行；

所述涂液辊与传送辊平行；涂液辊配有驱动其转动的同步轮，同步轮位于涂液辊轴向一端外侧，同步轮的轴心与涂液辊的轴心平行，且同步轮的轴心与涂液辊的轴心位于同一竖直平面；同步轮配有驱动其转动的驱动机构；

所述同步轮还设有安装孔，安装孔为直条孔，安装孔沿同步轮的径向延伸，且安装孔跨越同步轮的轴心；同步轮的外侧还设有接近开关，且接近开关与同步轮的轴心位于同一竖直平面；同步轮上还设有可被接近开关感应的触发件，触发件位于安装孔外部，且触发件与安装孔位于同一直线；触发件可随同步轮转动，且触发件转动至可被接近开关感应的位置时，触发件转动至与同步轮轴心位于同一竖直平面；

所述涂液辊通过连接轴与同步轮装配；连接轴包括：与涂液辊连接、且与涂液辊共轴心的轴主体，以及由轴主体远离涂液辊一端延伸出、且插入安装孔中的轴凸部；轴凸部与安装孔滑动配合；

所述连接轴的轴主体配有支承其转动的转动支承装置，转动支承装置位于涂液辊和同步轮之间；转动支承装置配有驱动其垂直升降的第一升降驱动装置；

所述涂液辊的正上方还设有测距传感器。

优选的，所述同步轮、接近开关、第一升降驱动装置、测距传感器都由机架支承。

优选的，所述涂液辊配有向其供应掺杂源的供料机构；供料机构包括由机架支承的：用于存储液态掺杂源的储液槽，以及将储液槽中的掺杂源转移至涂液辊的带液辊和挤液辊；带液辊、挤液辊都平置且都与传送辊平行；带液辊的下部浸入储液槽中，带液辊的上部位于储液槽上方；涂液辊位于储液槽外侧；挤液辊位于带液辊和涂液辊之间，且挤液辊的底部两侧分别与带液辊、涂液辊接触。