[实用新型]晶圆位置采集机构及晶圆纠偏系统

权利要求书

1.一种晶圆位置采集机构，其特征在于，包括：

透光元件，具有相背的第一侧和第二侧，所述透光元件通过所述第一侧与待测晶圆相邻设置；

摄像头，设置于所述透光元件的第二侧，所述摄像头包括朝向所述透光元件的镜头以及用于与外部的晶圆调节机构通讯连接的数据传输件；

光源组件，设置于所述透光元件的第二侧，所述光源组件发出的光线透过所述透光元件；所述光源组件包括罩体和光源，所述罩体的一端与所述透光元件贴合，另一端设有供所述摄像头的镜头插入的镜头孔；所述光源设置于所述罩体内，并位于所述待测晶圆在所述镜头的成像区域外。

2.根据权利要求1所述的晶圆位置采集机构，其特征在于，所述罩体靠近所述透光元件的一端环绕设置有多个光源，所述罩体的内壁为球形反光面，能够聚拢多个所述光源的光线，并反射至所述透光元件。

3.根据权利要求2所述的晶圆位置采集机构，其特征在于，所述透光元件设有用于固定所述罩体的固定机构。

4.根据权利要求3所述的晶圆位置采集机构，其特征在于，所述罩体靠近所述透光元件的端部具有环形外沿，

所述固定机构的数量为多个，并环绕所述环形外沿等间距分布，任一所述固定机构包括彼此连接的连接部和压合部，所述压合部压覆于所述环形外沿，并通过所述连接部固定于所述透光元件。

5.根据权利要求1所述的晶圆位置采集机构，其特征在于，所述透光元件的第二侧表面设有安装架，所述安装架远离所述透光元件的端部设有正对所述镜头孔的安装部，所述摄像头设置于所述安装部的侧面。

6.根据权利要求5所述的晶圆位置采集机构，其特征在于，所述安装部的侧面设有沿垂直于所述透光元件的第二侧表面方向延伸的安装槽，所述摄像头通过连接螺杆和螺母配合固定于所述安装槽。

7.根据权利要求1所述的晶圆位置采集机构，其特征在于，所述透光元件的第二侧还设有提手。

8.根据权利要求1所述的晶圆位置采集机构，其特征在于，所述透光元件为亚克力板。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的晶圆位置采集机构，其特征在于，所述罩体为铝制罩体。

10.一种晶圆纠偏系统，其特征在于，所述晶圆纠偏系统包括用于放置待测晶圆的平台、用于夹持所述晶圆的机械手、晶圆调节机构以及权利要求1～9中任一项所述的晶圆位置采集机构；

所述晶圆位置采集机构与所述平台相对设置，所述晶圆调节机构与所述机械手连接并控制所述机械手运动。