[实用新型]晶圆载具的存储装置

权利要求书

1.一种晶圆载具的存储装置，其特征在于，包括：

支撑板，包括沿第一方向连续设置的第一端部、主体部和第二端部；

垫块，固定于所述第一端部的下侧以使所述支撑板整体倾斜设置，所述第一端部高于所述第二端部；

止挡块，固定于所述第二端部的上侧；

两个限位板，固定于所述主体部的上侧并沿第二方向间隔设置，所述第二方向垂直于所述第一方向；

多个传动组件，设置于两个所述限位板之间并沿所述第二方向间隔设置，各传动组件包括沿所述第一方向布置的多个滚轮，各滚轮可转动地连接于所述主体部，各滚轮至少部分凸出于所述主体部的上表面并用于支撑晶圆载具；在各所述传动组件中，沿靠近所述第二端部的方向，多个所述滚轮的高度逐渐降低。

2.根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，所述第一端部的上表面为弧形面，且所述弧形面的靠近所述主体部的一端高于所述弧形面的远离所述主体部的一端。

3.根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，所述传动组件为两个。

4.根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，所述滚轮包括芯轴和套设于所述芯轴的滚轮本体，所述芯轴连接于所述主体部，所述滚轮的至少部分凸出于所述主体部的上表面。

5.根据权利要求4所述的存储装置，其特征在于，所述主体部设置有多个第一通孔，多个所述第一通孔沿所述第二方向间隔设置；

所述传动组件与所述第一通孔对应设置；

所述传动组件的所述滚轮的所述滚轮本体的一部分容纳于对应的所述第一通孔内。

6.根据权利要求5所述的存储装置，其特征在于，所述主体部具有第一凹槽，所述第一凹槽相对于所述主体部的上表面凹陷，所述第一通孔贯通所述第一凹槽的底壁；

所述第一凹槽的底壁包括两个连接区，分别位于所述第一通孔沿所述第二方向的两侧；

各所述连接区形成有第二凹槽，所述第二凹槽相对于所述连接区的上表面凹陷并与所述第一通孔连通；

所述芯轴的两端分别插入两个所述连接区的所述第二凹槽。

7.根据权利要求6所述的存储装置，其特征在于，所述存储装置还包括盖板，所述盖板容纳于所述第一凹槽内并覆盖所述第二凹槽；

所述盖板设置有第二通孔，所述滚轮的所述滚轮本体经由所述第二通孔露出；

所述盖板的上表面与所述主体部的上表面齐平。

8.根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，所述存储装置还包括传感器，设置于所述止挡块上且用于检测所述晶圆载具是否到达设定的位置。

9.根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，所述支撑板倾斜的角度为5°-15°。

10.根据权利要求1所述的存储装置，其特征在于，各所述限位板靠近所述第一端部的一端设置有导向斜面，所述导向斜面用于引导所述晶圆载具进入两个所述限位板之间。