[实用新型]晶圆载具的存储装置

说明书

本申请涉及一种晶圆载具的存储装置。本申请实施例的存储装置包括：支撑板，包括沿第一方向连续设置的第一端部、主体部和第二端部；垫块，固定于第一端部的下侧以使支撑板整体倾斜设置，第一端部高于第二端部；止挡块，固定于第二端部的上侧；两个限位板，固定于主体部的上侧并沿第二方向间隔设置，第二方向垂直于第一方向；多个传动组件，设置于两个限位板之间并沿第二方向间隔设置，各传动组件包括沿第一方向布置的多个滚轮，各滚轮可转动地连接于主体部，各滚轮至少部分凸出于主体部的上表面并用于支撑晶圆载具。在各传动组件中，沿靠近第二端部的方向，多个滚轮的高度逐渐降低。

技术领域

本申请涉及半导体领域，特别是涉及一种晶圆载具的存储装置。

背景技术

传统的半导体制造工厂通常包含必要的制造机台，用以处理半导体晶圆，诸如曝光、化学机械研磨或化学气相沉积。在制造过程中，半导体晶圆需要通过一系列的各式各样的机台，用以完成制造步骤。

多个晶圆通常放置到卡匣(cassette)内，而卡匣会被放入载具中，以利于在厂房中搬运。载具通常存放在存储装置中，当需要时，机械手自动从存储装置上抓取载具。然而，现有的存储装置无定位功能，载具的位置精度较差，不利于机械手的准确抓取。

实用新型内容

本申请提供一种晶圆载具的存储装置，其能够自动对晶圆载具进行定位。

本申请提出了一种晶圆载具的存储装置，其包括：支撑板，包括沿第一方向连续设置的第一端部、主体部和第二端部；垫块，固定于第一端部的下侧以使支撑板整体倾斜设置，第一端部高于第二端部；止挡块，固定于第二端部的上侧；两个限位板，固定于主体部的上侧并沿第二方向间隔设置，第二方向垂直于第一方向；多个传动组件，设置于两个限位板之间并沿第二方向间隔设置，各传动组件包括沿第一方向布置的多个滚轮，各滚轮可转动地连接于主体部，各滚轮至少部分凸出于主体部的上表面并用于支撑晶圆载具。在各传动组件中，沿靠近第二端部的方向，多个滚轮的高度逐渐降低。

在一些实施例中，第一端部的上表面为弧形面，且弧形面的靠近主体部的一端高于弧形面的远离主体部的一端。

在一些实施例中，传动组件为两个。

在一些实施例中，滚轮包括芯轴和套设于芯轴的滚轮本体，芯轴连接于主体部，滚轮的至少部分凸出于主体部的上表面。

在一些实施例中，主体部设置有多个第一通孔，多个第一通孔沿第二方向间隔设置。传动组件与第一通孔对应设置。传动组件的滚轮的滚轮本体的一部分容纳于对应的第一通孔内。

在一些实施例中，主体部具有第一凹槽，第一凹槽相对于主体部的上表面凹陷，第一通孔贯通第一凹槽的底壁。第一凹槽的底壁包括两个连接区，分别位于第一通孔沿第二方向的两侧。各连接区形成有第二凹槽，第二凹槽相对于连接区的上表面凹陷并与第一通孔连通。芯轴的两端分别插入两个连接区的第二凹槽。

在一些实施例中，存储装置还包括盖板，盖板容纳于第一凹槽内并覆盖第二凹槽。盖板设置有第二通孔，滚轮的滚轮本体经由第二通孔露出。盖板的上表面与主体部的上表面齐平。

在一些实施例中，存储装置还包括传感器，设置于止挡块上且用于检测晶圆载具是否到达设定的位置。

在一些实施例中，支撑板倾斜的角度为5°-15°。

在一些实施例中，各限位板靠近第一端部的一端设置有导向斜面，导向斜面用于引导晶圆载具进入两个限位板之间。