[实用新型]一种反溶剂膜旋涂装置

权利要求书

1.一种反溶剂膜旋涂装置，其特征在于，其包括：

工作台；

升降模组，转动安装在所述工作台上；

液膜环，固定安装在所述升降模组上；

容器，固定安装在所述工作台上；

旋涂仪，固定安装在所述工作台上，所述旋涂仪的吸盘上吸附固定有基底；

驱动件，固定安装在所述工作台上，并通过传动机构与所述升降模组传动连接，用于驱动所述升降模组转动。

2.根据权利要求1所述的一种反溶剂膜旋涂装置，其特征在于，所述液膜环的内径大于所述基底的外径。

3.根据权利要求1所述的一种反溶剂膜旋涂装置，其特征在于，所述升降模组和所述液膜环之间固定连接有异形臂。

4.根据权利要求3所述的一种反溶剂膜旋涂装置，其特征在于，所述异形臂整体为L形。

5.根据权利要求4所述的一种反溶剂膜旋涂装置，其特征在于，所述异形臂的横向部分为伸缩杆。

6.根据权利要求3所述的一种反溶剂膜旋涂装置，其特征在于，所述液膜环通过可拆卸连接结构与所述异形臂固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种反溶剂膜旋涂装置，其特征在于，所述可拆卸连接结构包括螺栓连接、卡扣连接。

8.根据权利要求1所述的一种反溶剂膜旋涂装置，其特征在于，所述基底的高度不高于所述容器的顶部高度。