[实用新型]一种反溶剂膜旋涂装置有效
申请号: | 202120571720.9 | 申请日: | 2021-03-22 |
公开(公告)号: | CN214797461U | 公开(公告)日: | 2021-11-19 |
发明(设计)人: | 彭长涛;杜林;陈谦;舒慧;唐宇;黄跃龙 | 申请(专利权)人: | 西南石油大学 |
主分类号: | H01L51/48 | 分类号: | H01L51/48;B05B3/10 |
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地址: | 610500 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 溶剂 膜旋涂 装置 | ||
本实用新型涉及一种反溶剂膜旋涂装置,其包括工作台、升降模组、液膜环、容器旋涂仪和驱动件,升降模组转动安装在工作台上;液膜环固定安装在升降模组上;容器固定安装在工作台上,容器内盛放添加有表面活性剂的反溶剂;旋涂仪固定在工作台上,旋涂仪吸盘上吸附有基底;驱动件通过传动机构与升降模组传动连接。本实用新型提供的一种反溶剂膜旋涂装置,采用在液膜环中形成反溶剂膜,在反溶剂膜与基底接触时破裂,使反溶剂与基底上的钙钛矿前驱体溶液均匀接触、萃取残余溶剂,从而形成均匀大面积的钙钛矿薄膜,取代了由枪头冲在基底中心,而产生的反溶剂作用面积小的问题,对商业大规模生产均匀大面积薄膜具有积极的推动作用。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池技术领域,尤其涉及一种反溶剂膜旋涂装置。
背景技术
钙钛矿材料具备载流子寿命长、光学带隙可调和成本低等优势。将钙钛矿薄膜作为新型薄膜太阳能电池光功能层,具有优异的光电性能。一步法前驱体溶液旋涂法,简称一步法是钙钛矿薄膜制备领域常用方法之一,特点是工艺简单操作简便,主要采用的仪器为旋涂仪,也称作匀胶机。一步法在旋涂过程中大多数溶剂被离心力甩出,残余溶剂需要冲反溶剂萃取出,促进钙钛矿晶体结晶。但是常规冲反溶剂的方法主要适用于实验室等小面积薄膜实验,其原因是反溶剂由移液枪的枪头集中冲在基底的中心,致使反溶剂作用面积极小,导致生成的薄膜严重不均匀。随着基底尺寸的增大,这种不均匀性将严重影响薄膜及器件的性能,也严重阻碍其方法应用于商业大规模生产。通过均匀分布大反溶剂作用位置制备均匀大面积薄膜还是一个新的领域,还没有确切的方案和实验测试装置。
实用新型内容
有鉴于此,有必要提供一种反溶剂膜旋涂装置,用以解决常规冲反溶剂的方法主要适用于实验室等小面积薄膜实验,无法适用于商业生产的问题。
本实用新型提供一种反溶剂膜旋涂装置,其包括:
工作台;
升降模组,转动安装在所述工作台上;
液膜环,固定安装在所述升降模组上;
容器,固定安装在所述工作台上;
旋涂仪,固定安装在所述工作台上,所述旋涂仪的吸盘上吸附固定有基底;
驱动件,固定安装在所述工作台上,并通过传动机构与所述升降模组传动连接,用于驱动所述升降模组转动。
进一步的,所述液膜环的内径大于所述基底的外径。
进一步的,所述升降模组和所述液膜环之间固定连接有异形臂。
进一步的,所述异形臂整体为L形。
进一步的,所述异形臂的横向部分为伸缩杆。
进一步的,所述液膜环通过可拆卸连接结构与所述异形臂固定连接。
进一步的,所述可拆卸连接结构包括螺栓连接、卡扣连接。
进一步的,所述基底的高度不高于所述容器的顶部高度。
本实用新型提供的一种反溶剂膜旋涂装置,采用在所述液膜环中形成反溶剂膜,在反溶剂膜与基底接触时破裂,使反溶剂与基底上的钙钛矿前驱体溶液均匀接触、萃取残余溶剂,从而形成均匀大面积的钙钛矿薄膜,取代了以往由移液枪的枪头集中冲在基底的中心,而产生的反溶剂作用面积小,生成的薄膜严重不均匀的问题,对商业大规模生产均匀大面积的薄膜具有积极的推动作用。
附图说明
图1为本实用新型提供的一种反溶剂膜旋涂装置的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图来具体描述本实用新型的优选实施例,其中,附图构成本申请一部分,并与本实用新型的实施例一起用于阐释本实用新型的原理,并非用于限定本实用新型的范围。
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