[实用新型]半导体真空烧结装置的发料机构

权利要求书

1.一种半导体真空烧结装置的发料机构，其特征在于：包括机架（1）、支架（2）、竖直调节机构、水平调节机构和取放料盘的夹持机构，所述夹持机构通过竖直调节机构安装在所述支架（2）上，所述竖直调节机构可驱动所述夹持机构在竖直方向调节位置；所述支架（2）与所述机架（1）通过所述水平调节机构相连接，所述水平调节机构可驱动所述支架（2）在水平方向调节位置。

2.如权利要求1所述的半导体真空烧结装置的发料机构，其特征在于：所述夹持机构包括夹持气缸（3）和夹爪（4），所述夹爪（4）的数量为二个，二个所述夹爪（4）对称设置在所述夹持气缸（3）的滑轨上，并与所述夹持气缸（3）的活塞杆固定连接，所述夹持气缸（3）可驱动二个所述夹爪（4）朝相反的方向运动；

所述夹持机构还包括第一导轨（5）和第一滑块（6），所述第一导轨（5）沿竖直方向设置，所述第一滑块（6）滑动安装在所述第一导轨（5）上，并与所述夹持气缸（3）的缸体固定连接，所述第一导轨（5）的底部设有限位卡台（7），所述限位卡台（7）能够限制所述第一滑块（6）向下滑动的范围，所述第一导轨（5）的顶部设有弹性顶杆（8），所述弹性顶杆（8）能够限制所述第一滑块（6）向上滑动的范围。

3.如权利要求2所述的半导体真空烧结装置的发料机构，其特征在于：所述竖直调节机构包括沿竖直方向安装在所述支架（2）上的第二导轨（9），所述第二导轨（9）上滑动安装有第二滑块（10），所述第一导轨（5）固定安装在所述第二滑块（10）上；

所述竖直调节机构还包括第一驱动电机（11）和第一从动轮（12），所述第一驱动电机（11）固定安装在所述支架（2）上，所述第一驱动电机（11）的输出轴上固定安装有第一驱动轮（13），所述第一驱动轮（13）与所述第一从动轮（12）通过第一传动带（14）连接同步转动，所述第二滑块（10）与所述第一传动带（14）固定连接，所述第一传动带（14）跟随所述第一驱动轮（13）转动能够带动所述第二滑块（10）沿所述第二导轨（9）上下移动。

4.如权利要求3所述的半导体真空烧结装置的发料机构，其特征在于：所述水平调节机构包括沿水平方向安装在所述机架（1）上的第三导轨（15），所述第三导轨（15）上滑动安装有第三滑块（16），所述支架（2）固定安装在所述第三滑块（16）上；

所述水平调节机构还包括第二驱动电机（17）和二个第二从动轮（18），二个所述第二从动轮（18）分别设置在所述第三导轨（15）的左端和右端，所述第二驱动电机（17）固定安装在所述机架（1）上，所述第二驱动电机（17）的输出轴上固定安装有第二驱动轮（19），所述第二驱动轮（19）和二个所述第二从动轮（18）的转动轴心平行设置，所述第二驱动轮（19）和二个所述第二从动轮（18）通过第二传动带（20）连接同步转动，所述第三滑块（16）与所述第二传动带（20）固定连接，所述第二传动带（20）跟随所述第二驱动轮（19）转动能够带动所述第三滑块（16）沿所述第三导轨（15）移动。