[实用新型]一种碳化硅晶棒粘接装置有效

专利信息
申请号: 202120576595.0 申请日: 2021-03-22
公开(公告)号: CN215039109U 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司
主分类号: B28D5/00 分类号: B28D5/00;B28D7/04;B28D7/00
代理公司: 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 代理人: 曹徐婷
地址: 150000 黑龙江省哈尔滨市松北区智谷二街3*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要:
搜索关键词: 一种 碳化硅 晶棒粘接 装置
【权利要求书】:

1.一种碳化硅晶棒粘接装置,其特征在于:包括底座(1)、立柱(2)和横梁(3),所述底座(1)上固定安装有两根立柱(2),横梁(3)与两根立柱(2)配合安装,横梁(3)与立柱(2)构成“门形架”结构,所述横梁(3)的中心位置安装有定位锥(4),定位锥(4)的两侧分别安装有第一千分表(5)和第一调整顶针(6),横梁(3)的中心位置还安装有纵向支座(7),纵向支座(7)的上端安装有第二调整顶针(8),纵向支座(7)的下端安装有第二千分表(9),所述底座(1)上安装有两条平行设置的滑轨(10),滑轨(10)上滑动安装有四个滑块(11),滑块(11)上安装有滑座板(12)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶棒粘接装置,其特征在于:所述横梁(3)上分别加工有第一圆孔(13)和第一螺纹孔(14),所述第一千分表(5)嵌入安装到第一圆孔(13)内,所述第一调整顶针(6)的外侧壁上加工有外螺纹,第一调整顶针(6)的一端加工有锥形尖头,第一调整顶针(6)的另一端加工有防滑纹,第一调整顶针(6)配合安装在第一螺纹孔(14)内。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶棒粘接装置,其特征在于:所述横梁(3)的中心位置加工有定位锥安装孔(15),定位锥(4)上具有销头(16),定位锥(4)通过销头(16)嵌入安装在定位锥安装孔(15)内。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶棒粘接装置,其特征在于:所述纵向支座(7)的上端加工有第二螺纹孔(17),纵向支座(7)的下端加工有第二圆孔(18),第二千分表(9)嵌入安装到第二圆孔(18)内,第二调整顶针(8)的外侧壁上加工有外螺纹,第二调整顶针(8)的一端加工有锥形尖头,第二调整顶针(8)的另一端加工有防滑纹,第二调整顶针(8)配合安装在第二螺纹孔(17)内。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶棒粘接装置,其特征在于:所述横梁(3)与纵向支座(7)相互垂直设置。

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