[实用新型]一种碳化硅晶棒粘接装置

说明书

一种碳化硅晶棒粘接装置，属于晶体定向粘料设备技术领域。本实用新型包括底座、立柱和横梁，所述底座上固定安装有两根立柱，横梁与两根立柱配合安装，横梁与立柱构成“门形架”结构，所述横梁的中心位置安装有定位锥，定位锥的两侧分别安装有第一千分表和第一调整顶针，横梁的中心位置还安装有纵向支座，纵向支座的上端安装有第二调整顶针，纵向支座的下端安装有第二千分表，所述底座上安装有两条平行设置的滑轨，滑轨上滑动安装有四个滑块，滑块上安装有滑座板。本实用新型的设计结构巧妙、安装方便、适于推广使用。

技术领域

本实用新型涉及一种碳化硅晶棒粘接调整工具，属于晶体定向粘料设备技术领域。

背景技术

在碳化硅晶片衬底片制作过程中，主要包含的加工过程有：长晶、晶棒外径滚圆、平磨、晶棒晶向摆正和粘接晶棒及工件板、晶棒线切割、倒角、双面研磨以及抛光、清洗等过程。其中在晶棒晶向测定并摆正后的粘接过程中，需要通过混合胶水将晶棒与长条形的树脂条和工件板粘接在一起进行后续多线切割加工。

目前碳化硅定向设备相对价格昂贵，多采用定向仪进行测量端面的晶向，然后采用人工方式将水晶棒手动粘接在粘接料板上，但是人工粘料过程中由于采用人为手指按压的方式使水晶棒粘接到粘接料板上，由于人为施加的压力不可控，导致水晶棒受压不均匀，也就是说，在人为施力过程中会使得原本已经调好的粘接角度出现较大的误差；同时，人工粘接一批水晶棒的粘接角度一致性不高；因此，由于人为操作不可控的因素较多，导致现有粘料机的粘料不精确，大大影响了水晶棒后续的切割角度的准确性，从而影响后续晶片成品的质量。

基于上述问题，亟需提出一种碳化硅晶棒粘接调整的工具，以辅助人工粘接水晶棒，提高粘接精度。

实用新型内容

本实用新型研发目的是为了解决上述技术问题，在下文中给出了关于本实用新型的简要概述，以便提供关于本实用新型的某些方面的基本理解。应当理解，这个概述并不是关于本实用新型的穷举性概述。它并不是意图确定本实用新型的关键或重要部分，也不是意图限定本实用新型的范围。

本实用新型的技术方案：

一种碳化硅晶棒粘接装置，包括底座、立柱和横梁，所述底座上固定安装有两根立柱，横梁与两根立柱配合安装，横梁与立柱构成“门形架”结构，所述横梁的中心位置安装有定位锥，定位锥的两侧分别安装有第一千分表和第一调整顶针，横梁的中心位置还安装有纵向支座，纵向支座的上端安装有第二调整顶针，纵向支座的下端安装有第二千分表，所述底座上安装有两条平行设置的滑轨，滑轨上滑动安装有四个滑块，滑块上安装有滑座板。

优选的：所述横梁上分别加工有第一圆孔和第一螺纹孔，所述第一千分表嵌入安装到第一圆孔内，所述第一调整顶针的外侧壁上加工有外螺纹，第一调整顶针的一端加工有锥形尖头，第一调整顶针的另一端加工有防滑纹，第一调整顶针配合安装在第一螺纹孔内。

优选的：所述横梁的中心位置加工有定位锥安装孔，定位锥上具有销头，定位锥通过销头嵌入安装在定位锥安装孔内。

优选的：所述纵向支座的上端加工有第二螺纹孔，纵向支座的下端加工有第二圆孔，第二千分表嵌入安装到第二圆孔内，第二调整顶针的外侧壁上加工有外螺纹，第二调整顶针的一端加工有锥形尖头，第二调整顶针的另一端加工有防滑纹，第二调整顶针配合安装在第二螺纹孔内。

优选的：所述横梁与纵向支座相互垂直设置。

本实用新型具有以下有益效果：本实用新型通过第一调整顶针、第二调整顶针、第一千分表和第二千分表来调节晶棒，是的晶棒进行一定的偏置后进行粘接，得到偏晶向井旁，在本实用新型中，通过调整并观察两个千分表，能够直观的能看到具体数值，通过具体数值来调节碳化硅晶片的晶向，大大降低了人工粘接晶棒的难度，提高了晶棒的粘接角度一致性。本实用新型的设计结构巧妙、安装方便、适于推广使用。

附图说明

图1是一种碳化硅晶棒粘接装置的立体图；