[实用新型]一种用于单晶炉托杆及埚托拆装一体工装车

说明书

本实用新型涉及一种用于单晶炉托杆及埚托拆装一体工装车，包括夹持机构，主轴，升降驱动机构，旋转驱动机构；所述夹持机构包括埚托夹持机构用于夹持埚托，托杆夹持机构用于夹持托杆，所述夹持机构安装在所述主轴上，所述升降驱动机构能够驱动所述夹持机构沿所述主轴上下移动，所述旋转驱动机构通过驱动所述主轴转动以带动所述夹持机构转动。本实用新型单晶炉托杆及埚托拆装一体工装车具有能够对分别对托杆及埚托进行夹持的夹持机构，夹持机构夹持托杆或埚托后通过升降、旋转等运动来完成托杆或埚托的拆装，由此替代人工拆装工作，实现托杆及埚托拆装的机械化作业，降低了工人的劳动强度、缩短了拆装工时、提高了拆装效率、降低了运行成本。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产装置领域领域，尤其涉及一种用于单晶炉托杆及埚托拆装一体工装车。

背景技术

单晶硅，又称硅单晶，是一种半导体材料。单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响。其中温度主要决定能否成晶，而速度将直接影响到晶体的内在质量，而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。温度分布合适的热场，不仅单晶生长顺利，而且品质较高。

现有的热场系统一般包含顶部保温，上、中、下保温以及底部保温，保温由内部石墨或碳碳保温筒包裹石墨软毡组成，坩埚系统从下至上由石墨托杆下轴、石墨埚托、碳碳埚帮组成。现阶段热场一般为30吋、32吋、36吋大尺寸热场，上部、中部、下部保温系统的外径最大可达1.5-2m，随着单次投料量的增多，起着支撑作用的石墨埚托、托杆，单体重量也随之增加。单晶炉拆装炉时，石墨埚托和托杆较多采用徒手拆装作业。在拆装过程中，特别是高温拆炉时，因埚托和托杆单体重量增加，导致人工拆装作业时损坏热场件及人身烫伤风险增大。

因此，发明一种能机械拆装并能方便转移的工装是现在亟需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于单晶炉托杆及埚托拆装一体工装车，以解决上述技术背景中提出的问题。

本实用新型所解决的技术问题可以采取以下方案来实现：一种用于单晶炉托杆及埚托拆装一体工装车，包括夹持机构，主轴，升降驱动机构，旋转驱动机构；所述夹持机构包括埚托夹持机构用于夹持埚托，托杆夹持机构用于夹持托杆，所述夹持机构安装在所述主轴上，所述升降驱动机构能够驱动所述夹持机构沿所述主轴上下移动，所述旋转驱动机构通过驱动所述主轴转动以带动所述夹持机构转动。

进一步的：所述托杆夹持机构与埚托夹持机构同圆心置于同一夹持支架下，所述托杆夹持机构置于埚托夹持机构内部；所述夹持支架与液压伸缩杆相连，所述液压伸缩杆通过安装支架与主轴连接，所述夹持机构通过液压伸缩杆前后伸缩。

进一步的：所述夹持支架包括托杆夹持支架和埚托夹持支架，所述托杆夹持支架与埚托夹持支架同圆心通过连通柱串连于液压伸缩杆。

进一步的：所述托杆夹持机构包括托杆抱臂，托杆抱爪，托杆耳板，托杆自复位销轴；所述托杆耳板固定在所述托杆夹持支架外侧，托杆抱臂一端通过销轴活动连接于托杆耳板，托杆抱臂另一端固定连接托杆抱爪，托杆自复位销轴贯穿托杆耳板和托杆抱臂，通过抽拉托杆自复位销轴控制托杆抱臂运动，从而带动托杆抱爪运动，以抱紧或松开石墨托杆；所述埚托夹持机构包括埚托抱臂，埚托抱爪，埚托耳板，埚托自复位销轴；所述埚托耳板固定在所述埚托夹持支架外侧，埚托抱臂一端通过销轴活动连接于埚托耳板，埚托抱臂另一端固定连接埚托抱爪，埚托自复位销轴贯穿埚托耳板和埚托抱臂，通过抽拉埚托自复位销轴控制埚托抱臂运动，从而带动埚托抱爪运动，以抱紧或松开石墨埚托。

进一步的：所述升降驱动机构包括固定安装于所述主轴上的齿轮滑道，安装于所述安装支架上并与所述齿轮滑道相齿合的齿轮，用于驱动所述齿轮的第一伺服电机，与第一伺服电机配合驱动齿轮的第一减速机，所述第一伺服电机通过第一减速机带动齿轮及安装支架在齿轮滑道上下移动，从而带动夹持机构在齿轮滑道上下移动。