[实用新型]一种用于蒸镀的旋转式线性蒸发源结构

权利要求书

1.一种用于蒸镀的旋转式线性蒸发源结构，其特征在于，具有：

基板；

蒸发源，其为长条形，所述蒸发源内设有加热丝；所述蒸发源至少设有两条；

坩埚，能够放置在所述蒸发源上，所述坩埚内能够放置物料；

旋转轴，第一端与所述蒸发源连接；

电机，其转轴与所述旋转轴的第二端连接。

2.如权利要求1所述的用于蒸镀的旋转式线性蒸发源结构，其特征在于，所述旋转轴为三层中空结构，包括依次套装的第一轴、第二轴和第三轴。

3.如权利要求2所述的用于蒸镀的旋转式线性蒸发源结构，其特征在于，所述蒸发源的加热丝的材质为钽；所述坩埚为钛合金材质坩埚。

4.如权利要求3所述的用于蒸镀的旋转式线性蒸发源结构，其特征在于，所述蒸发源的长度大于基板的直径20mm。

5.如权利要求4所述的用于蒸镀的旋转式线性蒸发源结构，其特征在于，所述蒸发源的数量不大于四个。

6.如权利要求5所述的用于蒸镀的旋转式线性蒸发源结构，其特征在于，所述坩埚的出口为网格状。