[实用新型]一种用于掩膜板干燥的多功能装置

权利要求书

1.一种用于掩膜板干燥的多功能装置，包括干燥箱体(1)，待干燥的掩膜板(7)置于干燥箱体(1)内部，所述干燥箱体(1)侧面设有箱门(5)，干燥箱体(1)内设有用于干燥掩膜板(7)的干燥机(12)，干燥机(12)与外部的控制柜连接，其特征在于，所述干燥箱体(1)的上、下内壁及与箱门(5)对立的侧壁上分别设有上板(8)、下板(13)和后板(14)，各板上间隔设有多个用于放置掩膜板(7)的条形凹槽(3)，上板(8)与下板(13)之间的凹槽(3)相对设置且凹槽(3)沿着掩膜板(7)进入箱体的方向，后板(14)上的凹槽(3)方向与上板(8)的凹槽(3)垂直，干燥箱体(1)顶面和箱门(5)对立面分别设有用于驱动上板(8)、后板(14)移动的电液压杆(4)，电液压杆(4)与控制柜连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于掩膜板干燥的多功能装置，其特征在于，所述凹槽(3)的底面设有电磁感应凸块(2)，电磁感应凸块(2)与控制柜连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于掩膜板干燥的多功能装置，其特征在于，所述箱门(5)两侧的内壁上设有环形导轨(9)，环形导轨(9)上安装有喷嘴(11)，喷嘴(11)通过管路与外部的压缩机连接，所述喷嘴(11)通过安装座(10)与干燥箱体(1)外的驱动装置(15)输出端连接，驱动装置(15)与控制柜连接且用于驱动喷嘴(11)沿环形导轨(9)滑动。

4.根据权利要求3所述的一种用于掩膜板干燥的多功能装置，其特征在于，所述喷嘴(11)为空心锥形喷嘴。

5.根据权利要求4所述的一种用于掩膜板干燥的多功能装置，其特征在于，所述喷嘴(11)与掩膜板(7)侧面的间距为100-350mm。

6.根据权利要求5所述的一种用于掩膜板干燥的多功能装置，其特征在于，所述喷嘴(11)的角度在50°-140°内自由调节。

7.根据权利要求1所述的一种用于掩膜板干燥的多功能装置，其特征在于，所述箱门(5)内侧的上方或边上设有门磁探测器(6)，门磁探测器(6)与控制柜连接。

8.根据权利要求3所述的一种用于掩膜板干燥的多功能装置，其特征在于，所述压缩机用于供给高纯氮气或者高过滤后的空气。

9.根据权利要求8所述的一种用于掩膜板干燥的多功能装置，其特征在于，所述高纯氮气的供给压力为3-10kgf。

10.根据权利要求8所述的一种用于掩膜板干燥的多功能装置，其特征在于，所述高过滤后的空气供给质量等级为一级或者二级。