[实用新型]一种插片机的三路并行插片结构有效

专利信息
申请号: 202120605187.3 申请日: 2021-03-25
公开(公告)号: CN214898338U 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 常逢旭;郗世亮;刘金棚 申请(专利权)人: 天津晟源科技发展有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 天津协众信创知识产权代理事务所(普通合伙) 12230 代理人: 房海萍
地址: 300450 天津市滨海新区中新生态城信息园一街11*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 插片机 并行 结构
【权利要求书】:

1.一种插片机的三路并行插片结构,包括机台(4),其特征在于,所述机台(4)的上方设有三路分片插片机构A、B、C,三路所述分片插片机构A、B、C从左往右依次排开,三路所述分片插片机构A、B、C每一路由分片上片机构(1)、硅片传输机构(2)、硅片插篮机构(3)三个机构构成,三路所述分片插片机构A、B、C每一路的下端均固定连接有基板(5),所述基板(5)和机台(4)通过定位组件相连接。

2.根据权利要求1所述的一种插片机的三路并行插片结构,其特征在于,所述定位组件包括两块定位块(6),两块所述定位块(6)对称连接在基板(5)的下端,所述机台(4)上对应定位块(6)的位置开设有相匹配的定位孔(7),所述定位块(6)远离基板(5)的一端穿过定位孔(7)并向外延伸,位于两块所述定位块(6)之间机台(4)远离基板(5)的一侧通过转动组件转动连接有螺纹杆(8),所述螺纹杆(8)的杆壁上螺纹连接有螺母(9),所述螺母(9)的环形侧壁上对称铰接有传动杆(10),所述传动杆(10)的另一端铰接有插销(11),位于所述机台(4)外的定位块(6)上对应插销(11)的位置开设有相匹配的插孔(17),所述插销(11)远离传动杆(10)的一端穿过插孔(17)设置,所述插销(11)靠近传动杆(10)一端位置的侧壁上通过支撑组件与机台(4)远离基板(5)的一侧相连接。

3.根据权利要求2所述的一种插片机的三路并行插片结构,其特征在于,所述转动组件包括剖面为T型的环形块(12),所述环形块(12)固定连接在螺纹杆(8)靠近机台(4)的一端,所述机台(4) 远离基板(5)的一端对应环形块(12)的位置开设有相匹配的环形槽(13),所述环形块(12)转动连接在环形槽(13)中。

4.根据权利要求2所述的一种插片机的三路并行插片结构,其特征在于,所述支撑组件包括支撑块(14),所述支撑块(14)固定连接在插销(11)靠近传动杆(10)一端位置的侧壁上,所述机台(4)远离基板(5)的一侧对应支撑块(14)的位置沿水平直线方向开设有支撑槽(15),所述支撑块(14)滑动连接在支撑槽(15)中,所述支撑槽(15)内固定连接有支撑杆(16),所述支撑杆(16)贯穿支撑块(14)设置,且支撑块(14)滑动连接在支撑杆(16)的杆壁上。

5.根据权利要求2所述的一种插片机的三路并行插片结构,其特征在于,所述螺纹杆(8)远离机台(4)的一端固定连接有转动柄。

6.根据权利要求1所述的一种插片机的三路并行插片结构,其特征在于,所述基板(5)上涂有绝缘涂层。

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