[实用新型]一种插片机的三路并行插片结构有效
申请号: | 202120605187.3 | 申请日: | 2021-03-25 |
公开(公告)号: | CN214898338U | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 常逢旭;郗世亮;刘金棚 | 申请(专利权)人: | 天津晟源科技发展有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 天津协众信创知识产权代理事务所(普通合伙) 12230 | 代理人: | 房海萍 |
地址: | 300450 天津市滨海新区中新生态城信息园一街11*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 插片机 并行 结构 | ||
1.一种插片机的三路并行插片结构,包括机台(4),其特征在于,所述机台(4)的上方设有三路分片插片机构A、B、C,三路所述分片插片机构A、B、C从左往右依次排开,三路所述分片插片机构A、B、C每一路由分片上片机构(1)、硅片传输机构(2)、硅片插篮机构(3)三个机构构成,三路所述分片插片机构A、B、C每一路的下端均固定连接有基板(5),所述基板(5)和机台(4)通过定位组件相连接。
2.根据权利要求1所述的一种插片机的三路并行插片结构,其特征在于,所述定位组件包括两块定位块(6),两块所述定位块(6)对称连接在基板(5)的下端,所述机台(4)上对应定位块(6)的位置开设有相匹配的定位孔(7),所述定位块(6)远离基板(5)的一端穿过定位孔(7)并向外延伸,位于两块所述定位块(6)之间机台(4)远离基板(5)的一侧通过转动组件转动连接有螺纹杆(8),所述螺纹杆(8)的杆壁上螺纹连接有螺母(9),所述螺母(9)的环形侧壁上对称铰接有传动杆(10),所述传动杆(10)的另一端铰接有插销(11),位于所述机台(4)外的定位块(6)上对应插销(11)的位置开设有相匹配的插孔(17),所述插销(11)远离传动杆(10)的一端穿过插孔(17)设置,所述插销(11)靠近传动杆(10)一端位置的侧壁上通过支撑组件与机台(4)远离基板(5)的一侧相连接。
3.根据权利要求2所述的一种插片机的三路并行插片结构,其特征在于,所述转动组件包括剖面为T型的环形块(12),所述环形块(12)固定连接在螺纹杆(8)靠近机台(4)的一端,所述机台(4) 远离基板(5)的一端对应环形块(12)的位置开设有相匹配的环形槽(13),所述环形块(12)转动连接在环形槽(13)中。
4.根据权利要求2所述的一种插片机的三路并行插片结构,其特征在于,所述支撑组件包括支撑块(14),所述支撑块(14)固定连接在插销(11)靠近传动杆(10)一端位置的侧壁上,所述机台(4)远离基板(5)的一侧对应支撑块(14)的位置沿水平直线方向开设有支撑槽(15),所述支撑块(14)滑动连接在支撑槽(15)中,所述支撑槽(15)内固定连接有支撑杆(16),所述支撑杆(16)贯穿支撑块(14)设置,且支撑块(14)滑动连接在支撑杆(16)的杆壁上。
5.根据权利要求2所述的一种插片机的三路并行插片结构,其特征在于,所述螺纹杆(8)远离机台(4)的一端固定连接有转动柄。
6.根据权利要求1所述的一种插片机的三路并行插片结构,其特征在于,所述基板(5)上涂有绝缘涂层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造