[实用新型]一种压力传感器封装模组有效

专利信息
申请号: 202120610576.5 申请日: 2021-03-25
公开(公告)号: CN215855106U 公开(公告)日: 2022-02-18
发明(设计)人: 于成奇;陈利宏;王悦锋 申请(专利权)人: 苏州纳芯微电子股份有限公司
主分类号: B81B7/00 分类号: B81B7/00;B81B7/02;G01L1/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王雨
地址: 215000 江苏省苏州市苏州工业*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 压力传感器 封装 模组
【说明书】:

实用新型公开了一种压力传感器封装模组,包括PCB基板、ASIC芯片、MEMS压力感应芯片及MEMS底座;所述ASIC芯片固定连接于所述PCB基板上;所述PCB基板上包括与所述MEMS底座配合设置的预置通孔,所述MEMS底座穿过所述预置通孔贯通所述PCB基板;所述MEMS压力感应芯片设置于所述MEMS底座上,且与所述ASIC设置于所述PCB基板的同一侧;所述MEMS底座包括接触通孔,待测流体通过所述接触通孔对所述MEMS压力感应芯片施压;所述MEMS底座为耐腐蚀底座。本实用新型简化了封装件的做造工艺,提高了生产效率,降低了耐腐蚀材料的用量,进而节省了成本,提升对MEMS压力感应芯片的保护效果。

技术领域

本实用新型涉及芯片封装领域,特别是涉及一种压力传感器封装模组。

背景技术

随着智能机械的发展和科技的进步,传感器作为机器自主感知周边环境的重要器件,其发展越来越受到各界的关注。

具体到压力传感器,现有的压力传感器的封装结构,一般为在耐腐蚀的陶瓷基板上布线镀金,得到陶瓷基片,再在陶瓷基片上固定压力感应芯片,得到封装前置物,再将封装前置物通过前述的金属线与PCB板通过回流焊实现信号连接,最后,在上述陶瓷基片上开洞,使压力感应芯片与待测流体接触。但现有技术中也存在诸多问题,如由于在陶瓷基板上布线镀金难度高,陶瓷基板、压力感应芯片及PCB板三者之间的回流焊难度大导致的封装工艺复杂;需要大面积的陶瓷做基板导致的生产成本上升;陶瓷基片与PCB板之间密封不严,对压力感应芯片的保护效果差的问题。

综上所述,如何解决现有技术中压力传感器封装工艺复杂、成本高,且对芯片保护效果差的问题是本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种压力传感器封装模组,以解决现有技术中压力传感器封装工艺复杂、成本高,且对芯片保护效果差的问题。

为解决上述技术问题,本实用新型提供一种压力传感器封装模组,包括 PCB基板、ASIC芯片、MEMS压力感应芯片及MEMS底座;

所述ASIC芯片固定连接于所述PCB基板上;

所述PCB基板上包括与所述MEMS底座配合设置的预置通孔,所述 MEMS底座穿过所述预置通孔贯通所述PCB基板;

所述MEMS压力感应芯片设置于所述MEMS底座上,且与所述ASIC设置于所述PCB基板的同一侧;

所述MEMS底座包括接触通孔,待测流体通过所述接触通孔对所述 MEMS压力感应芯片施压;

所述MEMS底座为耐腐蚀底座。

可选地,在所述的压力传感器封装模组中,所述压力传感器封装模组还包括与所述MEMS压力感应芯片同侧设置的保护框体;

所述保护框体、所述PCB基板及所述MEMS底座围成保护腔,所述MEMS 压力感应芯片设置于所述保护腔底部。

可选地,在所述的压力传感器封装模组中,所述压力传感器封装模组还包括正面灌封胶层;

所述正面灌封胶层设置于所述保护腔内,覆盖于所述MEMS压力感应芯片的正面。

可选地,在所述的压力传感器封装模组中,所述保护框体的内壁包括防爬槽。

可选地,在所述的压力传感器封装模组中,所述压力传感器封装模组还包括背面灌封胶层;

所述背面灌封胶层设置于所述接触通孔底部,覆盖于所述MEMS压力感应芯片的背面。

可选地,在所述的压力传感器封装模组中,所述MEMS底座包括台阶状外延部;

所述台阶状外延部与所述PCB基板的背面贴合。

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