[实用新型]玻璃光罩存放装置

权利要求书

1.一种玻璃光罩存放装置，其特征在于，包括：

存放台，所述存放台上设有储存架，所述储存架用于存放玻璃光罩；

支架，所述支架设于所述存放台并自所述存放台向上延伸；以及

空气净化装置，所述空气净化装置设于所述支架，所述空气净化装置位于所述储存架的上方，所述空气净化装置用于向所述储存架输送洁净空气以清洁所述储存架上的所述玻璃光罩。

2.根据权利要求1所述的玻璃光罩存放装置，其特征在于，所述空气净化装置输送空气的方向垂直于所述存放台的台面。

3.根据权利要求1所述的玻璃光罩存放装置，其特征在于，所述储存架上间隔设有多个凹槽，各所述凹槽分别用于插设所述玻璃光罩，以实现所述玻璃光罩在所述储存架上的存放。

4.根据权利要求3所述的玻璃光罩存放装置，其特征在于，所述储存架包括相连接的第一部分以及第二部分，所述第二部分与所述第一部分相互垂直，所述第一部分设于所述存放台，所述第二部分抵止于所述支架，所述凹槽设于所述第一部分和/或所述第二部分。

5.根据权利要求4所述的玻璃光罩存放装置，其特征在于，所述凹槽设于所述第一部分和所述第二部分时，所述凹槽包括相连通的第一子凹槽以及第二子凹槽，所述第一子凹槽设于所述第一部分，所述第二子凹槽设于所述第二部分，所述第一子凹槽和所述第二子凹槽分别用于插设所述玻璃光罩的相邻两侧。

6.根据权利要求3所述的玻璃光罩存放装置，其特征在于，所述凹槽的槽宽为d，9mm≤d≤15mm。

7.根据权利要求3所述的玻璃光罩存放装置，其特征在于，任意相邻两个所述凹槽之间的间距为b，40mm≤b≤60mm。

8.根据权利要求1-7任一所述的玻璃光罩存放装置，其特征在于，所述支架包括第一架体以及第二架体，所述第一架体设于所述存放台的一侧，所述第二架体连接于所述第一架体，且所述第二架体位于所述储存架的上方，所述空气净化装置设于所述第二架体。

9.根据权利要求1-7任一所述的玻璃光罩存放装置，其特征在于，所述玻璃光罩存放装置还包括离子风机，所述离子风机设于所述支架，所述离子风机位于所述空气净化装置与所述储存架之间，所述离子风机用于向所述储存架输送带电荷空气，所述空气净化装置用于将所述带电荷空气以及所述洁净空气输送至所述储存架。

10.根据权利要求9所述的玻璃光罩存放装置，其特征在于，所述离子风机输送空气的方向与所述存放台的台面之间形成夹角θ，5°≤θ≤35°。