[实用新型]玻璃光罩存放装置

说明书

本实用新型实施例公开了一种玻璃光罩存放装置，包括存放台、支架以及空气净化装置。存放台上设有储存架，储存架用于存放玻璃光罩，支架设于存放台并自存放台向上延伸。空气净化装置设于支架，空气净化装置位于储存架的上方，空气净化装置用于向储存架输送洁净空气。通过支架将空气净化装置设置于储存架的上方，空气净化装置能够向储存架输送洁净空气，且该洁净空气形成的气流能够阻挡不洁空气进入储存架，从而为玻璃光罩提供符合洁净度要求的储存环境。并且，采用洁净的气流来阻挡不洁的空气进入储存架的方式，操作人员可直接穿过气流将玻璃光罩存放至储存架或从储存架将玻璃光罩取出，玻璃光罩的存取过程较为便捷。

技术领域

本实用新型涉及存放装置技术领域，尤其涉及一种玻璃光罩存放装置。

背景技术

玻璃光罩的洁净度对其功能影响较大，因此对于玻璃光罩的存放环境的洁净度要求较高。目前行业内往往使用密封盒来存放玻璃光罩，在拿取或存放玻璃光罩的过程中需要执行打开和关闭密封盒的步骤，玻璃光罩的存取过程较为繁琐。

实用新型内容

本实用新型实施例公开了一种玻璃光罩存放装置，在保证存放环境的洁净度符合要求的同时，便于玻璃光罩的存取。

为了实现上述目的，本实用新型公开了一种玻璃光罩存放装置，包括：

存放台，所述存放台上设有储存架，所述储存架用于存放玻璃光罩；

支架，所述支架设于所述存放台并自所述存放台向上延伸；以及

空气净化装置，所述空气净化装置设于所述支架，所述空气净化装置位于所述储存架的上方，所述空气净化装置用于向所述储存架输送洁净空气以清洁所述储存架上的所述玻璃光罩。

作为一种可选的实施方式，所述空气净化装置输送空气的方向垂直于所述存放台的台面。

作为一种可选的实施方式，所述储存架上间隔设有多个凹槽，各所述凹槽分别用于插设所述玻璃光罩，以实现所述玻璃光罩在所述储存架上的存放。

作为一种可选的实施方式，所述储存架包括相连接的第一部分以及第二部分，所述第二部分与所述第一部分相互垂直，所述第一部分设于所述存放台，所述第二部分抵止于所述支架，所述凹槽设于所述第一部分和/或所述第二部分。

作为一种可选的实施方式，所述凹槽设于所述第一部分和所述第二部分时，所述凹槽包括相连通的第一子凹槽以及第二子凹槽，所述第一子凹槽设于所述第一部分，所述第二子凹槽设于所述第二部分，所述第一子凹槽和所述第二子凹槽分别用于插设所述玻璃光罩的相邻两侧。

作为一种可选的实施方式，所述凹槽的槽宽为d，9mm≤d≤15mm。

作为一种可选的实施方式，任意相邻两个所述凹槽之间的间距为b，40mm≤b≤60mm。

作为一种可选的实施方式，所述支架包括第一架体以及第二架体，所述第一架体设于所述存放台的一侧，所述第二架体连接于所述第一架体，且所述第二架体位于所述储存架的上方，所述空气净化装置设于所述第二架体。

作为一种可选的实施方式，所述玻璃光罩存放装置还包括离子风机，所述离子风机设于所述支架，所述离子风机位于所述空气净化装置与所述储存架之间，所述离子风机用于向所述储存架输送带电荷空气，所述空气净化装置用于将所述带电荷空气以及所述洁净空气输送至所述储存架。

作为一种可选的实施方式，所述离子风机输送空气的方向与所述存放台的台面之间形成夹角θ，5°≤θ≤35°。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：