[实用新型]一种预定位承载装置

权利要求书

1.一种预定位承载装置，其特征在于，包括：

承载件，可控地沿第一方向运动，所述承载件用于固定并承载工件；

校正件，用于匹配工件，所述校正件可拆卸连接承载件，且所述校正件上设有收纳位，所述收纳位与承载件相匹配，用于容纳所述承载件，以使所述承载件的中心与校正件的中心重合；以及

定位件，用于抵靠所述校正件的边缘，所述定位件至少三个且围绕第一方向分布，所述定位件可控地沿第二方向运动，以使所有所述定位件所围成的几何区域的中心与校正件的中心重合；其中，所述第二方向与第一方向相交。

2.如权利要求1所述的预定位承载装置，其特征在于，所述收纳位为贯通校正件的通孔结构，或所述收纳位为设于校正件的槽体结构。

3.如权利要求2所述的预定位承载装置，其特征在于，所述校正件具有相对的第一表面和第二表面，所述收纳位包括设置在第一表面的第一收纳槽和设置在第二表面的第二收纳槽；所述第一收纳槽的形状不同于第二收纳槽的形状，和/或所述第一收纳槽的尺寸不同于第二收纳槽的尺寸。

4.如权利要求1所述的预定位承载装置，其特征在于，所述承载件为圆形或正多边形的盘体结构，所述收纳位的形状与承载件的形状相同。

5.如权利要求1所述的预定位承载装置，其特征在于，所述校正件的轮廓形状为圆形或正多边形。

6.如权利要求1所述的预定位承载装置，其特征在于，所述定位件包括：

支撑件，用于固定在预设位置；以及

调节件，可控地沿第二方向运动，所述调节件与支撑件活动连接，用以抵靠所述校正件的边缘。

7.如权利要求6所述的预定位承载装置，其特征在于，所述定位件还包括驱动件，所述驱动件的动力输出端耦合至调节件，用以驱使所述调节件相对于支撑件沿第二方向运动。

8.如权利要求1所述的预定位承载装置，其特征在于，还包括基板件，所述基板件设有行程通孔，所述行程通孔用于供承载件沿第一方向运动通过基板件，所述定位件布置在基板件上并位于行程通孔的边缘。

9.如权利要求1所述的预定位承载装置，其特征在于，所述承载件包括：

承载基体，可控地沿第一方向运动；以及

多个真空孔，均匀地分布在所述承载基体的承载面，所述真空孔用于与真空源连通，以产生吸附力，从而将工件吸附并固定在承载基体上。

10.如权利要求9所述的预定位承载装置，其特征在于，所述承载件还包括环状凸缘，所述环状凸缘围绕设置在承载基体的边缘，用于在所述承载基体上围合呈真空槽腔；多个所述真空孔位于真空槽腔内，以在所述真空槽腔内产生负压效应。

11.如权利要求10所述的预定位承载装置，其特征在于，所述承载件还包括均匀分布在真空槽腔内的多个支撑凸点，所述环状凸缘的高度大于等于支撑凸点的高度，且所述真空孔位于由至少两个相邻的支撑凸点所构成的间隙内，以在吸附工件时，使工件与所述支撑凸点相抵。