[实用新型]一种SF6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置

权利要求书

1.一种SF6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的一端设置有活动门，所述箱体(1)的内部顶端设置有圆盘(2)，所述圆盘(2)的顶端中部通过转轴和轴承与箱体(1)的顶端内壁活动连接，所述圆盘(2)的下方设置有第一环形板(3)，所述第一环形板(3)的上表面两侧均固定连接有第二环形板(4)，所述第二环形板(4)设置为倾斜状，两个所述第二环形板(4)远离第一环形板(3)的一端分别与圆盘(2)的下表面两侧固定连接，所述箱体(1)的上表面中部固定连接有第一伺服电机(5)，所述第一伺服电机(5)的输出端与圆盘(2)顶端固定的转轴固定连接，所述第二环形板(4)内部设置有行星锅(6)，所述行星锅(6)的外弧侧边缘处固定连接有第一环形挡板(7)，所述第二环形板(4)的内壁开设有与第一环形挡板(7)相适配的第一环形槽(8)，所述第一环形挡板(7)位于第一环形槽(8)内部，所述行星锅(6)的外弧侧中部固定连接有固定板(9)，所述固定板(9)远离行星锅(6)的一侧设置有安装板(10)。

2.根据权利要求1所述的一种SF6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置，其特征在于：所述固定板(9)的一侧通过转轴和轴承与安装板(10)的一侧表面活动连接，所述安装板(10)的另一侧表面固定连接有第二伺服电机(11)，所述第二伺服电机(11)的输出端与固定板(9)一侧固定的转轴固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种SF6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置，其特征在于：所述安装板(10)的两端均固定连接有支撑柱(12)，两个所述支撑柱(12)远离安装板(10)的一端分别与圆盘(2)的一端和第一环形板(3)的上表面固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种SF6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置，其特征在于：所述第一环形挡板(7)的外侧开设有多个呈环形阵列分布的第一滚珠槽(13)，所述第一滚珠槽(13)内部设置有与其相适配的第一滚珠(14)，所述第一滚珠(14)的外侧与第一环形槽(8)的槽壁贴合。

5.根据权利要求4所述的一种SF6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置，其特征在于：所述第一环形板(3)的外侧固定连接有第二环形挡板(15)，所述箱体(1)的内侧壁开设有与第二环形挡板(15)相适配的第二环形槽(16)，所述第二环形挡板(15)位于第二环形槽(16)内部。

6.根据权利要求5所述的一种SF6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置，其特征在于：所述第二环形挡板(15)的底端开设有多个呈环形阵列分布的第二滚珠槽(17)，所述第二滚珠槽(17)内部设置有与其相适配的第二滚珠(18)，所述第二滚珠(18)的底端与第二环形槽(16)的槽底贴合。

7.根据权利要求6所述的一种SF6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置，其特征在于：所述箱体(1)的底端内壁中部固定连接有支撑块(19)，所述支撑块(19)的顶端中部开设有放置槽(20)，所述放置槽(20)内部设置有坩埚(21)，所述坩埚(21)内部设置有源(22)。