[实用新型]一种SF6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置

说明书

本实用新型公开了一种SF6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置，涉及到金属蒸镀装置领域，包括箱体，所述箱体的一端设置有活动门，所述箱体的内部顶端设置有圆盘，所述圆盘的顶端中部通过转轴和轴承与箱体的顶端内壁活动连接。本实用新型通过设置两个有第二环形板，第二环形板的两端分别与圆盘和第一环形板固定连接，行星锅位于第二环形板内部，通过第一伺服电机带动圆盘转动，进而使第二环形板随之转动，使第二环形板内部的行星锅做公转运动，通过在行星锅的一端设置有固定板和安装板，安装板两端通过支撑柱与圆盘和第一环形板固定，通过第二伺服电机带动行星锅在第二环形板内部自转，大大的提高了本装置运行时行星锅的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及金属蒸镀装置领域，特别涉及一种SF6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置。

背景技术

电子束顶锅金属蒸镀技术在半导体芯片制造工艺中被广泛应用，是现在大部分芯片生产加工用的主要金属蒸镀手段之一，现有的金属蒸镀装置在使用行星锅时通常采用齿轮传动的方式带动其自转，这种结构的行星锅不稳定，从而导致装置整体稳定性差，甚至会影响装置的使用寿命，因此，发明一种SF6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种SF6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种SF6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置，包括箱体，所述箱体的一端设置有活动门，所述箱体的内部顶端设置有圆盘，所述圆盘的顶端中部通过转轴和轴承与箱体的顶端内壁活动连接，所述圆盘的下方设置有第一环形板，所述第一环形板的上表面两侧均固定连接有第二环形板，所述第二环形板设置为倾斜状，两个所述第二环形板远离第一环形板的一端分别与圆盘的下表面两侧固定连接，所述箱体的上表面中部固定连接有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端与圆盘顶端固定的转轴固定连接，所述第二环形板内部设置有行星锅，所述行星锅的外弧侧边缘处固定连接有第一环形挡板，所述第二环形板的内壁开设有与第一环形挡板相适配的第一环形槽，所述第一环形挡板位于第一环形槽内部，所述行星锅的外弧侧中部固定连接有固定板，所述固定板远离行星锅的一侧设置有安装板。

优选的，所述固定板的一侧通过转轴和轴承与安装板的一侧表面活动连接，所述安装板的另一侧表面固定连接有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出端与固定板一侧固定的转轴固定连接。

优选的，所述安装板的两端均固定连接有支撑柱，两个所述支撑柱远离安装板的一端分别与圆盘的一端和第一环形板的上表面固定连接。

优选的，所述第一环形挡板的外侧开设有多个呈环形阵列分布的第一滚珠槽，所述第一滚珠槽内部设置有与其相适配的第一滚珠，所述第一滚珠的外侧与第一环形槽的槽壁贴合。

优选的，所述第一环形板的外侧固定连接有第二环形挡板，所述箱体的内侧壁开设有与第二环形挡板相适配的第二环形槽，所述第二环形挡板位于第二环形槽内部

优选的，所述第二环形挡板的底端开设有多个呈环形阵列分布的第二滚珠槽，所述第二滚珠槽内部设置有与其相适配的第二滚珠，所述第二滚珠的底端与第二环形槽的槽底贴合。

优选的，所述箱体的底端内壁中部固定连接有支撑块，所述支撑块的顶端中部开设有放置槽，所述放置槽内部设置有坩埚，所述坩埚内部设置有源。

本实用新型的技术效果和优点：

1、本实用新型通过设置两个有第二环形板，第二环形板的两端分别与圆盘和第一环形板固定连接，行星锅位于第二环形板内部，通过第一伺服电机带动圆盘转动，进而使第二环形板随之转动，使第二环形板内部的行星锅做公转运动，通过在行星锅的一端设置有固定板和安装板，安装板两端通过支撑柱与圆盘和第一环形板固定，通过第二伺服电机带动行星锅在第二环形板内部自转，大大的提高了本装置运行时行星锅的稳定性；