[实用新型]一种等离子处理单槽台车过渡板的推送结构有效
申请号: | 202120642400.8 | 申请日: | 2021-03-30 |
公开(公告)号: | CN214933821U | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 张明德;汤家云;刘庆峰 | 申请(专利权)人: | 扬州国兴技术有限公司 |
主分类号: | B65G47/82 | 分类号: | B65G47/82 |
代理公司: | 江苏海联海律师事务所 32531 | 代理人: | 倪章勇 |
地址: | 225000 江苏省扬*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 等离子 处理 台车 过渡 推送 结构 | ||
1.一种等离子处理单槽台车过渡板的推送结构,包括过渡板(1)和转接板(2),所述过渡板(1)上面设置滑轨,装有待处理等离子基板的单槽台车通过滑轨滑动设置在过渡板(1)上,转接板(2)上方设置滑轨,过渡板(1)通过滑轨滑动设置在转接板(2)上,其特征在于,所述过渡板(1)的一侧设有推杆伺服器(3),所述推杆伺服器(3)连接U型推杆(4)的一端;所述U型推杆(4)的另一端上设有推杆升降销(5),对应的单槽台车尾端上方设有升降销孔(6),推杆升降销(5)下移后插入升降销孔(6);所述推杆伺服器(3)的下端设有过渡板位移伺服器(7),所述过渡板位移伺服器(7)上设有过渡板位移卡销(8),对应的过渡板(1)侧边设有位移定位柱(9),过渡板位移卡销(8)卡入位移定位柱(9),过渡板位移伺服器(7)设置在沿U型推杆(4)方向移动的滑轨上,通过过渡板位移卡销(8)卡入位移定位柱(9),过渡板位移伺服器(7)带动过渡板(1)沿滑轨方向移动。
2.根据权利要求1所述的一种等离子处理单槽台车过渡板的推送结构,其特征在于:所述推杆升降销(5)上设有用于推动推杆升降销(5)上下移动的气缸。
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