[实用新型]一种等离子处理单槽台车过渡板的推送结构

说明书

本实用新型公开了一种等离子处理单槽台车过渡板的推送结构，包括过渡板和转接板，利用过渡板位移伺服器先连接过渡板，并带动过渡板自动滑动后，再利用推杆伺服器推动U型推杆，将单槽台车推入等离子处理腔体，整个过程由控制系统控制两个伺服器完成过渡板和单槽台车的所有动作，辅助实现了等离子处理系统前输送待处理基板的全自动化操作，提高了等离子处理系统的效率，实现全自动化系统处理。

技术领域

本实用新型涉及等离子处理技术领域，特别涉及一种等离子处理单槽台车过渡板的推送结构

背景技术

使用等离子体对基板进行表面和孔内进行处理是一种广泛的基板生产工艺，目前的等离子体处理设备多为单个腔体同时进行多片基板处理的架构，往往需要人力将需要处理的基板固定在台车上，然后将台车运至台车运送区域，然后调控升降机使得转接板与等离子体处理设备水平，再经人工固定转接板，最后将台车上单槽台车内的基板进入等离子真空处理腔体内加工处理，这种人工固定位移的方式，不利于自动化的实现，针对上述不足，通常会设计一系列自动化输料系统来解决上述问题，自动化输料的系统中我们通常设计一过渡板，用于将装有待处理基板的单槽台车过渡至等离子处理腔体，确保基板转移至等离子处理腔体的过程中，台车不会在输送过程中掉落，而过渡板较多采用的是滑轨移动，在台车输送过程中，单槽台车和过渡板都需要通过伺服器带动移动，完成整个等离子处理基板输送的自动化。

实用新型内容

为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种等离子处理单槽台车过渡板的推送结构，能够分别实现过渡板和单槽台车自动推拉，满足等离子处理自动化输料系统的需求。

本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种等离子处理单槽台车过渡板的推送结构，包括过渡板和转接板，所述过渡板上面设置滑轨，装有待处理等离子基板的单槽台车通过滑轨滑动设置在过渡板上，转接板上方设置滑轨，过渡板通过滑轨滑动设置在转接板上，所述过渡板的一侧设有推杆伺服器，所述推杆伺服器连接U型推杆的一端；所述U型推杆的另一端上设有推杆升降销，对应的单槽台车尾端上方设有升降销孔，推杆升降销下移后插入升降销孔；所述推杆伺服器的下端设有过渡板位移伺服器，所述过渡板位移伺服器上设有过渡板位移卡销，对应的过渡板侧边设有位移定位柱，过渡板位移卡销卡入位移定位柱，过渡板位移伺服器设置在沿推杆方向的滑轨上，通过过渡板位移卡销卡入位移定位柱，过渡板位移伺服器带动过渡板沿滑轨方向移动。

作为本实用新型的进一步改进，所述推杆升降销上设有用于推动推杆升降销上下移动的气缸。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的等离子处理基板单槽台车的推送结构利用过渡板位移伺服器先连接过渡板，并带动过渡板自动滑动后，再利用推杆伺服器推动U型推杆，将单槽台车推入等离子处理腔体，整个过程由控制系统控制两个伺服器完成过渡板和单槽台车的所有动作，辅助实现了等离子处理系统前输送待处理基板的全自动化操作，提高了等离子处理系统的效率，实现全自动化系统处理。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为图1的侧视图；

图3为图2中的A部放大示意图；

图中标示：1-过渡板；2-转接板；3-推杆伺服器；4-U型推杆；5-推杆升降销；6-升降销孔； 7-过渡板位移伺服器；8-过渡板位移卡销；9-位移定位柱；10-单槽台车；11-等离子处理腔体。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。