[实用新型]一种探针卡调节装置有效
| 申请号： | 202120650991.3 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN214622935U | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 傅智云 | 申请（专利权）人： | 无锡紫电半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/073 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 朱晓林 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区新泰路8号江苏国际技术转移中*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 探针 调节 装置 | ||
1.一种探针卡调节装置，其包括底座、安装于所述底座上的探针卡调节机构、薄膜调节机构、显微镜，其特征在于，所述探针卡调节机构包括用于放置所述探针卡的探针卡放置槽、带动所述探针卡放置槽X向移动、Z向移动及横向旋转的探针卡驱动机构，所述薄膜调节机构包括用于固定所述薄膜的薄膜固定件、带动所述薄膜固定件X向移动、Y向移动及纵向旋转的薄膜驱动机构，所述薄膜固定件位于所述探针卡放置槽的上方，所述显微镜位于所述薄膜固定件的上方，所述显微镜的镜头依次对应所述薄膜、探针卡。
2.根据权利要求1所述的一种探针卡调节装置，其特征在于，所述探针卡调节机构包括r2轴旋转台、安装于所述r2轴旋转台的第二X向移动滑台、安装于所述第二X向移动滑台的滑块上的Y向移动滑台，所述r2轴旋转台包括旋转台、第二转轴、第二旋钮，所述第二转轴的一端与所述旋转台底端固定，所述第二转轴的另一端与所述第二旋钮固定，所述第二X向移动滑台滑动安装于所述旋转台的顶端，所述Y向移动滑台滑动安装于所述第二X向移动滑台的顶端，所述Y向移动滑台的中部设置有探针卡放置槽。
3.根据权利要求1所述的一种探针卡调节装置，其特征在于，所述显微镜通过支架与所述底座固定，所述支架包括两块与所述底座固定的竖板，固定于两个所述竖板顶端的横板，所述横板的顶端设置有第三滑槽、与所述第三滑槽滑动连接的第二滑板、设置于所述第二滑板顶端的第四滑槽、与所述第四滑槽滑动连接的第三滑板，所述显微镜通过所述第三滑板滑动安装于所述第三滑槽内。
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