[实用新型]一种检测设备有效

专利信息
申请号: 202120666358.3 申请日: 2021-03-31
公开(公告)号: CN215263168U 公开(公告)日: 2021-12-21
发明(设计)人: 洪艮超;张鹏斌;刘建鹏;陈鲁;张嵩 申请(专利权)人: 深圳中科飞测科技股份有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01N21/01
代理公司: 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 代理人: 刘志海;郭燕
地址: 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 检测 设备
【权利要求书】:

1.一种检测设备,其特征在于,包括:

承载装置,用于承载待检工件;

驱动装置,用于驱使所述承载装置绕第一轴线旋转,所述驱动装置的动力端耦合至承载装置;和

检测装置,布置于所述承载装置的上方空间,所述检测装置包括:

光发射件,用于发射检测光,以照射待检工件的表面;

观测窗口,用于供人眼观测待检工件的表面;以及

图像采集件,用于获取待检工件的表面图像,所述图像采集件布置于观测窗口内或位于观测窗口的轮廓覆盖范围内。

2.如权利要求1所述的检测设备,其特征在于,所述第一轴线在垂直于第一轴线的基准平面上的投影与观测窗口的中心在基准平面上的投影的连线为第一连线、与所述图像采集件的中心在基准平面上的投影的连线为第二连线,所述第二连线重合于第一连线。

3.如权利要求1所述的检测设备,其特征在于,所述承载装置包括:

承接件,用于承接待检工件,所述驱动装置的动力端耦合至承接件;

定位件,用于将待检工件的边缘抵压于所述承接件,所述定位件与承接件沿第一轴线并行分布;以及

承载驱动件,用于驱使所述定位件沿第一轴线靠近或远离承接件,所述定位件和承接件中的一个连接承载驱动件的本体、另一个连接承载驱动件的动力端。

4.如权利要求3所述的检测设备,其特征在于,所述定位件包括:

定位环,用于围绕布置在待检工件的边缘,所述定位环连接承载驱动件的本体或承载驱动件的动力端;以及

抵压臂,用于将抵压待检工件的边缘,所述抵压臂围绕第一轴线设置于定位环。

5.如权利要求3所述的检测设备,其特征在于,所述承接件与定位件之间形成有接料口,所述接料口位于承载装置的边缘,用于供待检工件出入所述承载装置。

6.如权利要求1所述的检测设备,其特征在于,所述光发射件包括明场光源和暗场光源,所述第一轴线在垂直于第一轴线的基准平面上的投影与明场光源的中心在基准平面上的投影的连线为第三连线、与暗场光源的中心在基准平面上的投影的连线为第四连线,所述第三连线与第四连线相交。

7.如权利要求6所述的检测设备,其特征在于,所述明场光源至少一个,所述暗场光源至少两个,至少一个所述明场光源布置于承载装置的上方空间,至少两个所述暗场光源以经过第一轴线和第三连线的平面为界镜像布置在明场光源的两侧。

8.如权利要求6所述的检测设备,其特征在于,所述驱动装置还用于驱使所述承载装置绕第二轴线转动,以使待检工件的表面与所述暗场光源的出光面的延伸方向平行,所述第二轴线与第一轴线呈交叉分布。

9.如权利要求8所述的检测设备,其特征在于,所述驱动装置包括:

支撑件;

第一驱动件,用于驱使所述承载装置相对于支撑件绕第二轴线转动,所述第一驱动件位于支撑件邻近承载装置的一端,且所述支撑件和承载装置中的一个连接第一驱动件的本体、另一个连接第一驱动件的动力端;以及

第二驱动件,用于驱使所述支撑件带动承载装置和第一驱动件绕第一轴线旋转,所述第二驱动件的动力端耦合至支撑件远离承载装置的一端。

10.如权利要求8所述的检测设备,其特征在于,还包括回转装置,所述回转装置用于驱使驱动装置和承载装置同步绕平行于第二轴线的第三轴线摆动,包括:

支撑座,所述驱动装置设置在支撑座;

导滑块,连接所述支撑座;

弧形导轨,与所述导滑块滑动连接;以及

第三驱动件,用于驱使所述导滑块在弧形导轨上滑移,所述第三驱动件的动力端耦合至导滑块。

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